特許

J-GLOBAL ID：200903072194803180

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

発明者： 石川 力 ,  渡辺 満明
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-259732
公開番号（公開出願番号）：特開2006-078558
出願日： 2004年09月07日
公開日（公表日）： 2006年03月23日
要約：

【課題】 光感度、解像度、密着性、機械強度及び柔軟性が優れ、プリント配線の高密度化及び高解像化に有用である感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法を提供すること。【解決手段】 (A)重量平均分子量10,000〜95,000のバインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記(BB)成分が(B1)一般式(I)【化1】(R1は水素原子又はメチル基を示し、Xは炭素数2〜6のアルキレン基を示し、l、m、nはそれぞれ1〜7の整数である)で表される感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)重量平均分子量10,000〜95,000のバインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記(B)成分が(B1)一般式(I)

IPC (7件)：

G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/11 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18

FI (7件)：

G03F7/027 502 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/033 ,  G03F7/11 501 ,  H05K3/00 F ,  H05K3/06 J ,  H05K3/18 D

Fターム (43件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA13 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB51 ,  2H025CB55 ,  2H025DA01 ,  2H025DA20 ,  2H025EA08 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  5E339AB02 ,  5E339AD03 ,  5E339BC02 ,  5E339BD11 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE16 ,  5E339CF01 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339DD04 ,  5E343CC62 ,  5E343DD33 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG08

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-036130   出願人：日立化成工業株式会社

審査官引用 (5件)

• スペーサー用感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-016640   出願人：奇美実業股分有限公司
• 感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性エレメント
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-303292   出願人：日立化成工業株式会社
• 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造方法及びプリント配線板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-162339   出願人：日立化成工業株式会社
• 感光性樹脂積層体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-109948   出願人：旭化成工業株式会社
• 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-376033   出願人：日立化成工業株式会社