特許
J-GLOBAL ID:200903020187132157
感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性エレメント
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (8件):
三好 秀和
, 三好 保男
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 栗原 彰
, 川又 澄雄
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-303292
公開番号(公開出願番号):特開2004-138809
出願日: 2002年10月17日
公開日(公表日): 2004年05月13日
要約:
【課題】耐薬品性に優れ密着性と解像度も良好な感光性樹脂組成物、およびそれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法、プリント配線板の製造法を提供する。【解決手段】本発明によれば、(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物および(C)光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物であって、前記(B)成分として(B1)エトキシ化グリセリントリ(メタ)アクリレート化合物および(B2)ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物を含む感光性樹脂組成物、ならびに、この感光性樹脂組成物層からなるレジスト層が支持体上に形成されてなる感光性エレメントが提供される。さらに本発明によれば、上記感光性樹脂組成物または感光性エレメントを用いたレジストパターンの製造法およびプリント配線板の製造法が提供される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物および(C)光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物であって、前記(B)成分として(B1)エトキシ化グリセリントリ(メタ)アクリレート化合物および(B2)ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (7件):
G03F7/027
, C08F257/02
, C08F290/06
, G03F7/004
, G03F7/033
, H05K3/06
, H05K3/18
FI (7件):
G03F7/027 502
, C08F257/02
, C08F290/06
, G03F7/004 512
, G03F7/033
, H05K3/06 J
, H05K3/18 D
Fターム (65件):
2H025AA02
, 2H025AA06
, 2H025AA07
, 2H025AA08
, 2H025AA14
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC42
, 2H025BC43
, 2H025CA01
, 2H025CA20
, 2H025CA27
, 2H025CA28
, 2H025CB13
, 2H025CB16
, 2H025CB43
, 2H025CB51
, 2H025CB55
, 2H025DA01
, 2H025DA19
, 2H025DA20
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H025FA40
, 2H025FA43
, 4J026AA43
, 4J026AC23
, 4J026AC33
, 4J026BA28
, 4J026BA30
, 4J026BB03
, 4J027AC02
, 4J027AJ02
, 4J027BA24
, 4J027CA03
, 4J027CB10
, 4J027CD10
, 5E339AB02
, 5E339BC02
, 5E339BD11
, 5E339BE13
, 5E339CC01
, 5E339CC02
, 5E339CD01
, 5E339CE11
, 5E339CE14
, 5E339CF16
, 5E339CF17
, 5E339CG04
, 5E339DD04
, 5E339GG01
, 5E343AA15
, 5E343AA17
, 5E343BB24
, 5E343CC63
, 5E343DD32
, 5E343ER12
, 5E343ER18
, 5E343FF07
, 5E343FF17
, 5E343GG03
, 5E343GG08
引用特許:
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