特許
J-GLOBAL ID：200903072252821135

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

発明者：
深谷 雄大

深谷 雄大 について

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石川 力

石川 力 について

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磯 純一

磯 純一 について

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日高 敬浩

日高 敬浩 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-367401
公開番号（公開出願番号）：特開2003-167340
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：
【要約】【課題】 光感度及びテント信頼性に優れ、スラッジの発生やめっき浴の汚染をも抑制し得る感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)バインダーポリマーと、(B)、分子内にオキシエチレン単位及びオキシプロピレン単位を有し、且つ少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有するオキシアルキレン系光重合性化合物を必須成分とする光重合性化合物と、(C)下記一般式(I)で表されるクマリン化合物を必須成分とする光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物。【化1】(式中、Z1及びZ2はそれぞれ独立に炭素数1〜20のアルキル基等、nは0〜4の整数、mは0〜2の整数、をそれぞれ示す。)
請求項（抜粋）：
(A)バインダーポリマーと、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物であって、(B)成分として、分子内にオキシエチレン単位及びオキシプロピレン単位を有し、且つ少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有するオキシアルキレン系光重合性化合物を含み(C)成分として、下記一般式(I)で表されるクマリン化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(式中、Z1及びZ2はそれぞれ独立にハロゲン原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜14のアリール基、アミノ基、炭素数1〜10のアルキルアミノ基、炭素数1〜20のジアルキルアミノ基、メルカプト基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基、アリル基、炭素数1〜20のヒドロキシアルキル基、カルボキシル基、アルキル基の炭素数が1〜10のカルボキシアルキル基、アルキル基の炭素数が1〜10のアシル基、炭素数1〜20のアルコキシル基、炭素数1〜20のアルコキシカルボニル基又は複素環を含む基、nは0〜4の整数、mは0〜2の整数をそれぞれ示す。なお、n個のZ1及びm個のZ2のうち少なくとも2つは環を形成していてもよい。)
IPC (11件)：
G03F 7/031 ,  C08F 2/50 ,  C08F299/00 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/11 501 ,  G03F 7/40 521 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18
FI (11件)：
G03F 7/031 ,  C08F 2/50 ,  C08F299/00 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/11 501 ,  G03F 7/40 521 ,  H05K 3/00 F ,  H05K 3/06 J ,  H05K 3/18 D
Fターム (62件)：
2H025AA01 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC42 ,  2H025BC43 ,  2H025CA20 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025DA01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA40 ,  2H025FA43 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096CA20 ,  2H096EA02 ,  2H096HA17 ,  2H096HA27 ,  2H096JA04 ,  2H096LA16 ,  4J011QB16 ,  4J011RA03 ,  4J011RA12 ,  4J011SA62 ,  4J011SA82 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J027AC02 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027AC06 ,  4J027AC08 ,  4J027CA03 ,  4J027CA25 ,  4J027CB10 ,  4J027CC05 ,  4J027CD10 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE16 ,  5E339CF01 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339DD04 ,  5E339GG10 ,  5E343CC63 ,  5E343DD21 ,  5E343DD32 ,  5E343DD43 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343ER32 ,  5E343GG08
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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