特許
J-GLOBAL ID：200903072424570091
タイミング調整方法、半導体試験装置におけるタイミングキャリブレーション方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373573
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183432
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 正確なタイミング調整方法およびタイミングリニアリティキャリブレーション方法を提供する。【解決手段】 本発明によるタイミング調整方法のフローは、S12で、ドライバの出力波形中の線形区間の二点を測定する。S14で、ストローブ信号の得ようとするタイミング分解能分のレベル増加分ΔVを演算により求める。S16で、比較器に、電圧VOHとドライバ出力を供給する。それから、S18で、所定のタイミングで、ストローブ信号を比較器に供給する。S24で、VOHをΔVだけ増分する。S26で、VOHがVmax(1400mV)以下であれば、S16に戻り、所定のタイミング分解能だけ遅延したストローブ信号の供給タイミングの調整を実行する。
請求項（抜粋）：
比較器に供給するストローブ信号の供給タイミングを調整するタイミング調整方法であって、半導体素子にタイミング調整用信号を供給するタイミング調整用信号供給ステップと、前記比較器の一方の入力端子に、第1電位を供給する第1電位供給ステップと、前記タイミング調整用信号に基づいて前記半導体素子から出力された出力信号を、前記比較器の他方の入力端子に供給するステップと、前記比較器に前記ストローブ信号を供給するステップと、前記比較器が出力する比較結果に基づいて、前記ストローブ信号の供給タイミングを調整し、前記比較結果が切り替わる第1タイミングを探す第1調整ステップとを備えたことを特徴とするタイミング調整方法。
Fターム (9件)：
2G032AE06
, 2G032AE08
, 2G032AG01
, 2G032AG07
, 2G032AH04
, 9A001BB05
, 9A001HH35
, 9A001KK31
, 9A001LL05
