特許
J-GLOBAL ID:200903072514698186
凝着・離脱装置、及びその離脱方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
河西 祐一
, 松山 允之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-157279
公開番号(公開出願番号):特開2006-326802
出願日: 2005年05月30日
公開日(公表日): 2006年12月07日
要約:
【目的】 物体面に付着し、物体面から素早く離脱する凝着・離脱装置及び方法を提供すること。 【構成】 物体面21に追従可能で物体面21に凝着する凝着面11を有する凝着部1と、物体面21に凝着している凝着面11の凝着力を可変にする凝着可変手段3と、を備え、凝着可変手段3により、凝着面11の凝着力の合力を弱め、凝着部1を物体から離脱させる、凝着・離脱装置、又は、その離脱方法。 【選択図】 図1
請求項(抜粋):
物体面に追従可能で物体面に凝着する凝着面を有する凝着部と、
物体面に凝着している凝着面の凝着力を可変にする凝着可変手段と、を備え、
凝着可変手段により、凝着面の凝着力の合力を弱め、凝着部を物体から離脱させる、凝着・離脱装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (2件):
引用特許:
審査官引用 (2件)
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ウエハ剥し装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-048866
出願人:三菱電機株式会社
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物体の把持機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-145839
出願人:キヤノン株式会社
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