特許
J-GLOBAL ID：200903072520490503

ワークキャリアとその製造方法及び両面研磨機

発明者：
結城 広昭

結城 広昭 について


出願人/特許権者：
エプソントヨコム株式会社

エプソントヨコム株式会社 について


代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-161972
公開番号（公開出願番号）：特開2007-331035
出願日： 2006年06月12日
公開日（公表日）： 2007年12月27日
要約：
【課題】作業者がワークキャリアの反りを防止するための反転作業及びその管理を確実に行うことができるワークキャリアを提供する。【解決手段】両面研磨機によってワークを研磨加工する際にワークを保持するワークキャリア1であって、ワークを保持する複数の保持穴4を有した円盤状のキャリア本体2と、キャリア本体2の表裏を目視により判別するために前記キャリア本体2に設けたマーキング部6とを備え、マーキング部6を円盤状のキャリアの中心部と、保持穴4を回避した盤面に設けるようにした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
両面研磨機によってワークを研磨加工する際にワークを保持するワークキャリアであっ て、前記ワークを保持する複数の保持穴を有した円盤状のキャリア本体と、前記キャリア 本体の表裏を目視により判別するために前記キャリア本体に設けたマーキング部と、を備 え、 前記マーキング部を前記円盤状のキャリアの中心部と、前記保持穴を回避した盤面に設 けたことを特徴とするワークキャリア。
IPC (2件)：
B24B 37/04 ,  H01L 21/304
FI (3件)：
B24B37/04 C ,  H01L21/304 621A ,  H01L21/304 622G
Fターム (8件)：
3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058AB08 ,  3C058AB09 ,  3C058CA06 ,  3C058CB03 ,  3C058CB04 ,  3C058DA18
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM