基板の保管方法とそのためのクリーンストッカ、真空ゲートバルブおよび搬送容器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-215018
公開番号（公開出願番号）：特開平9-064144
出願日： 1995年08月23日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】従来の半導体ウエハなどの製造設備は、複数の処理装置間で基板を清浄状態で保管および搬送するために製造設備全体を収納する巨大なクリーンルームが必要であり、建設、運転および清浄度の維持管理に多大な費用と労力が必要である。【解決手段】複数の処理装置(3)から構成される半導体などの製造設備において、内部を真空状態に維持されたクリーンストッカ(1)を設け、複数の処理装置(3)とクリーンストッカ(1)との間において気密状態に収納可能な搬送容器(2)により半導体などの基板を授受・搬送し、クリーンストッカ(1)に基板を一時保管する。

請求項（抜粋）：

複数の処理装置(31,32,33)から構成される半導体ウエハなどの製造設備(3)において、内部を真空状態に維持されたクリーンストッカ(1)を設け、複数の前記処理装置(31,32,33)と前記クリーンストッカ(1)との間において気密状態に収納可能な搬送容器(2)により前記半導体などの基板を授受・搬送し、前記クリーンストッカ(1)に前記基板を一時保管することを特徴とする基板の保管方法。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , F24F 7/06

FI (3件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/68 T , F24F 7/06 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

クリーン搬送方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-177803 出願人：テイーデイーケイ株式会社
特開平4-294766
クリーン搬送方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-024992 出願人：ティーディーケイ株式会社

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