特許

J-GLOBAL ID：200903072565540293

位置検出方法

発明者： 鈴木 武彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-271889
公開番号（公開出願番号）：特開2005-030963
出願日： 2003年07月08日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：

【課題】 アライメントマークからのアライメント信号の非対称性による誤差を低減し、高精度に位置検出を行うことができる位置検出方法を提供する。【解決手段】 被検出体上に形成された複数のマークエレメントから構成されるアライメントマークの像の信号を用いて当該被検出体の位置を検出する位置検出方法であって、前記信号の全体の形状から近似される前記アライメントマークの中心位置を表す第1の位置情報を取得するステップと、前記信号の全ての変曲点から算出される前記アライメントマークの中心位置を表す複数の第2の位置情報を取得するステップと、前記複数の第2の位置情報から、前記第1の位置情報に基づいて所定の距離にある前記第2の位置情報を前記アライメントマークの中心位置として選択するステップとを有することを特徴とする位置検出方法を提供する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被検出体上に形成された複数のマークエレメントから構成されるアライメントマークの像の信号を用いて当該被検出体の位置を検出する位置検出方法であって、 前記信号の全体の形状から近似される前記アライメントマークの中心位置を表す第1の位置情報を取得するステップと、 前記信号の全ての変曲点から算出される前記アライメントマークの中心位置を表す複数の第2の位置情報を取得するステップと、 前記複数の第2の位置情報から、前記第1の位置情報に基づいて所定の距離にある前記第2の位置情報を前記アライメントマークの中心位置として選択するステップとを有することを特徴とする位置検出方法。

IPC (3件)：

G01B11/00 ,  G03F9/00 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G01B11/00 H ,  G03F9/00 H ,  H01L21/30 525W

Fターム (35件)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA14 ,  2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB18 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065CC20 ,  2F065DD04 ,  2F065DD11 ,  2F065FF04 ,  2F065GG03 ,  2F065GG05 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL08 ,  2F065LL12 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ36 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ42 ,  2F065TT02 ,  2F065TT08 ,  5F046FC03 ,  5F046FC04 ,  5F046FC06

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 半導体集積回路パターンの位置合わせ方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-300206   出願人：株式会社日立製作所
• 位置検出方法、位置合わせ方法、および露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-104389   出願人：株式会社ニコン
• 位置検出方法、位置検出装置、露光方法、及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-071876   出願人：株式会社ニコン
• 半導体製造方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-051774   出願人：株式会社東芝