特許
J-GLOBAL ID:200903072683360240
高周波用配線
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤巻 正憲
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-024315
公開番号(公開出願番号):特開2003-229705
出願日: 2002年01月31日
公開日(公表日): 2003年08月15日
要約:
【要約】【課題】 高周波電流を流す際に抵抗が低く、寄生インダクタンスが小さく、且つ製造が容易である高周波用配線を提供する。【解決手段】 インダクタ1の両端に夫々高周波用配線である引出線2を接続し、この引出線2を2本の分割配線2a及び2bにより構成する。分割配線2aと2bとの間はスリット3とする。分割配線2aの長さ、幅及び厚さは分割配線2bの長さ、幅及び厚さに夫々等しくし、分割配線2a及び2bの長手方向の抵抗値を相互に等しくする。スリット3の幅は分割配線2a及び2bの幅以上とする。
請求項(抜粋):
半導体集積回路内に設けられ高周波信号電流を伝送する高周波用配線において、実質的に相互に平行に延びる複数の分割配線からなり、前記高周波信号電流を前記分割配線に分割して流すものであることを特徴とする高周波用配線。
IPC (4件):
H01P 3/08
, H01L 21/3205
, H01L 21/822
, H01L 27/04
FI (4件):
H01P 3/08
, H01L 21/88 A
, H01L 27/04 D
, H01L 27/04 L
Fターム (14件):
5F033HH08
, 5F033MM21
, 5F033MM22
, 5F033VV08
, 5F033XX08
, 5F038AZ04
, 5F038AZ06
, 5F038CD05
, 5F038CD12
, 5F038CD18
, 5F038DF01
, 5F038EZ10
, 5F038EZ20
, 5J014CA02
引用特許:
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