特許
J-GLOBAL ID：200903072745677262

水晶穴加工方法およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法

発明者：
臼井 隆寛

臼井 隆寛 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-223287
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343714
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：
【要約】【課題】 安価で高精度な水晶穴加工方法の提供。【解決手段】 水晶基板100に所定の穴を形成するための水晶穴加工方法である。Z面方位となる水晶基板100面に所定パターンの開口部110を備えたマスク(102)を形成し、マスクの開口部110に先穴111を形成し、先穴111が形成された水晶基板100を異方性エッチングすることにより、精度の高い穴を安価に作成する。
請求項（抜粋）：
水晶基板に所定の穴を形成するための水晶穴加工方法において、Z面方位となる水晶基板面に所定パターンの開口部を備えたマスクを形成する工程と、前記マスクの開口部に先穴を形成する工程と、前記先穴が形成された水晶基板を異方性エッチングする工程と、を備えたことを特徴とする水晶穴加工方法。
IPC (7件)：
B41J 2/16 ,  B23K 26/00 330 ,  B28D 1/14 ,  B28D 5/00 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B23K101:36
FI (5件)：
B41J 3/04 103 H ,  B23K 26/00 330 ,  B28D 1/14 ,  B28D 5/00 Z ,  B41J 3/04 103 A
Fターム (22件)：
2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP22 ,  2C057AP23 ,  2C057AP34 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AQ07 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  3C069AA04 ,  3C069BA09 ,  3C069BB04 ,  3C069CA02 ,  3C069EA02 ,  4E068AF01 ,  4E068AF02 ,  4E068CD03 ,  4E068CD08 ,  4E068DB00
引用特許：
審査官引用 (4件)
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