特許
J-GLOBAL ID：200903072864527309
機能性膜素子の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-049250
公開番号（公開出願番号）：特開平10-246654
出願日： 1997年03月04日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：
【要約】【課題】 機能性膜素子に使用されるセラミック基体の作製におけるセラミックプレート間の接続面でのギャップ(剥離)の発生を防止し、検出精度と機械的特性に優れた機能性膜素子の製造方法を提供する。【解決手段】 少なくとも複数の窓部29が設けられた窓部スペーサプレート26と、窓部29を覆蓋する覆蓋プレート25および窓部29に連通する連通孔22・23を有する連通孔プレート27のそれぞれのグリーンシートを積層して一体焼成するときに、窓部スペーサプレート26の厚みtと連通孔22・23の短軸方向の長さwとの比t/wが1以上となるようにし、焼成後に覆蓋プレート25の外面上に機能性膜作動部33を形成する。
請求項（抜粋）：
少なくとも一つの窓部が設けられた窓部スペーサプレートの一方の側に覆蓋プレートを重ね合わせて当該窓部を覆蓋閉塞し、次いで、前記窓部スペーサプレートの他方の側に連通孔を有する連通孔プレートを重ね合わせて、当該連通孔の少なくとも一部が当該窓部に連通し、かつ、当該連通孔が当該窓部から当該窓部の外側に突出した形状を有するようにし、前記窓部スペーサプレートの厚さtと前記連通孔の短軸方向の幅wとの比率t/wが1以上となるようにして、前記各プレートのグリーンシートを積層形成した後に一体焼成せしめ、当該窓部に当該通孔が連通したキャビティ部を形成してなるセラミックス基体を作製した後、当該覆蓋プレートの外面上に機能性膜を形成することを特徴とする機能性膜素子の製造方法。
IPC (4件)：
G01D 21/00
, G01L 7/00
, H01L 35/14
, H01L 41/08
G01D 21/00 G
, G01L 7/00 Z
, H01L 35/14
, H01L 41/08 Z
