測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：松井伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-161288
公開番号（公開出願番号）：特開2001-337035
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：

【要約】【目的】固体等のLD,LBが大きい試料であっても確実にCDを測定することのできるCD測定装置を提供すること【構成】光源1から出射される光の光路上に分光器2,偏光子3,偏光変調器4,試料を回転可能に保持する試料保持装置5,検光子6,検出器7を配置し、その検出器7の出力を信号処理装置8に与える。検出器からは、偏光変調器の変調周波数と同一の50kHzと、2倍の100kHzが出力される。信号処理部は、検出器の出力信号のうち前記偏光変調器における変調周波数に相当する周波数成分及びその変調周波数の2倍の周波数成分に基づいて信号処理する。変調周波数成分であるLBと、変調周波数の2倍の周波数成分はCBを表し、試料を回転させて最大値を示す位置での測定値と、試料を回転させて最小値を示す位置における値を得、それらを加えて2で割ることにより真のCB値を算出する。

請求項（抜粋）：

単色光を直線偏光させる偏光子と、その偏光子を透過した光の偏光状態を所定の基本変調周波数で、右回りの円偏光,左回りの円偏光に同時に基本変調周波数の2倍の周波数で垂直方向の直線偏光,水平方向の直線偏光に交番的に変化させる偏光変調器と、その偏光変調器から得られた光の光路に配置された試料保持部と、その試料保持部を通過した光が通過する検光子を通過した光の強度を検出する検出器と、その検出器の出力に基づいて信号処理する信号処理部を備えた偏光変調測定装置であって、前記検光子の光軸が前記偏光子の光軸に対し45度の差を持った配置とし、前記信号処理部は、前記検出器の出力信号のうち前記偏光変調器における変調周波数に相当する周波数成分及びその変調周波数の2倍の周波数成分に基づいて信号処理するもので、変調周波数成分であるLBと、変調周波数の2倍の周波数成分はCBを表すもので、試料を回転させて最大値を示す位置での測定値と、試料を回転させて最小値を示す位置における値を得、それらを加えて2で割ることにより真のCB値を算出する測定装置。

IPC (3件)：

G01N 21/23 , G01J 3/447 , G01J 4/04

FI (3件)：

G01N 21/23 , G01J 3/447 , G01J 4/04 Z

Fターム (32件)：

2G020AA04 , 2G020AA05 , 2G020CA13 , 2G020CA15 , 2G020CB04 , 2G020CB43 , 2G020CC02 , 2G020CC13 , 2G020CC29 , 2G020CD03 , 2G020CD15 , 2G020CD22 , 2G020CD33 , 2G020CD36 , 2G059AA02 , 2G059BB10 , 2G059BB15 , 2G059DD13 , 2G059EE01 , 2G059EE05 , 2G059EE12 , 2G059GG06 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059JJ05 , 2G059JJ06 , 2G059JJ18 , 2G059JJ19 , 2G059KK01 , 2G059MM01 , 2G059MM17 , 2G059NN01

引用特許：

審査官引用 (7件)

特公昭63-042212
測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-313335 出願人：日本分光株式会社
特公昭63-042212

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