特許
J-GLOBAL ID:200903072921638740
冷陰極電子源とそれを用いて構成した撮像装置、表示装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
杉村 興作 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-061844
公開番号(公開出願番号):特開2002-260524
出願日: 2001年03月06日
公開日(公表日): 2002年09月13日
要約:
【要約】【課題】 電子ビームの発散角を抑えるようにした従来の冷陰極電子源においては、上部電極とは異なる電圧を印加する集束電極を必要としているため、集束電極用の配線が新たに必要となり、配線のレイアウトが複雑になるという解決すべき課題があった。【課題】 絶縁基板1上に下部電極2a、絶縁層4および上部電極5が順次に形成されるとともに、その上部電極5から前記絶縁層4までが部分的に除去され、除去された部分に円錐状でかつ下部電極2aと同電位の電子放出部3が設けられ、上部電極5が下部電極2aに対して高電位となるように両電極間に電圧を印加して真空中で電子放出を行わせる冷陰極電子源において、電子放出部3の少なくとも1個を含む領域の外側の領域では、下部電極2b上に前記絶縁層4および上部電極5が順次に形成されていないように構成した。
請求項(抜粋):
絶縁基板上に下部電極、絶縁層および上部電極が順次に形成されるとともに、前記上部電極から前記絶縁層までが部分的に除去され、該除去された部分に円錐状でかつ前記下部電極と同電位の電子放出部が設けられ、前記上部電極が前記下部電極に対して高電位となるように両電極間に電圧を印加して真空中で電子放出を行わせる冷陰極電子源において、前記電子放出部の少なくとも1個を含む領域の外側の領域では、前記下部電極上に前記絶縁層および前記上部電極が順次に形成されていないようにしたことを特徴とする冷陰極電子源。
IPC (4件):
H01J 1/304
, H01J 29/04
, H01J 31/12
, H01J 31/38
FI (4件):
H01J 29/04
, H01J 31/12 C
, H01J 31/38 B
, H01J 1/30 F
Fターム (11件):
5C031DD17
, 5C036EE03
, 5C036EE14
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EG12
, 5C036EG19
, 5C036EH01
, 5C036EH05
, 5C037AA01
, 5C037AB08
引用特許:
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