感光性フィルム用感光性樹脂組成物および感光性フィルム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-142476
公開番号（公開出願番号）：特開2000-330272
出願日： 1999年05月21日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】解像度、基板への密着性に優れ、現像後に形成されるレジストパターンを20μm以下の線幅で安定して形成することができる感光性フィルム用感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性フィルムを提供する。【解決手段】アクリル系高酸価樹脂を含有する感光性フィルム用感光性樹脂組成物であって、前記アクリル系高酸価樹脂が、(メタ)アクリル酸と、ベンジル(メタ)アクリレートまたは炭素数12〜18のアルキル基を有するアルキル(メタ)アクリレート2〜50重量%とを構成単量体として含む共重合体であり、前記アクリル系高酸価樹脂の重量平均分子量が、8,000〜200,000であり、前記アクリル系高酸価樹脂の分子量分布(Mw/Mn)が、2.5以下である感光性フィルム用感光性樹脂組成物、およびこれからなる感光層を有する感光性フィルム。

請求項（抜粋）：

アクリル系高酸価樹脂を含有する感光性フィルム用感光性樹脂組成物であって、前記アクリル系高酸価樹脂が、(メタ)アクリル酸と、ベンジル(メタ)アクリレートまたは炭素数12〜18のアルキル基を有するアルキル(メタ)アクリレート2〜50重量%とを構成単量体として含む共重合体であり、前記アクリル系高酸価樹脂の重量平均分子量が、8,000〜200,000であり、前記アクリル系高酸価樹脂の分子量分布(Mw/Mn)が、2.5以下であることを特徴とする感光性フィルム用感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 512 , C08F220/06 , C08F220/18 , G03F 7/033 , H05K 3/06

FI (5件)：

G03F 7/004 512 , C08F220/06 , C08F220/18 , G03F 7/033 , H05K 3/06 H

Fターム (44件)：

2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA14 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC43 , 2H025BC66 , 2H025BC74 , 2H025CA01 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB43 , 2H025CB54 , 2H025CB55 , 2H025CB56 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J100AB02R , 4J100AG04R , 4J100AJ02P , 4J100AL03R , 4J100AL04R , 4J100AL05Q , 4J100AL08Q , 4J100AL09R , 4J100AM02R , 4J100BC43Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100DA01 , 4J100DA04 , 4J100JA37 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CC10 , 5E339CD01 , 5E339CE12 , 5E339CE16 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339DD02

引用特許：

審査官引用 (7件)

感光性樹脂組成物、感光性シート及び金属配線基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-331481 出願人：富士写真フイルム株式会社
感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-264072 出願人：日立化成工業株式会社
特開昭62-295046

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