質量分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-196856
公開番号（公開出願番号）：特開2000-149865
出願日： 1999年07月12日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】低い真空度条件下でも効率よくイオンを収束する。【解決手段】複数枚の円盤状金属板を並べて仮想的なロッドを構成し、複数のロッド31、32(他の2本は省略)をイオン光軸Cの周囲に配置してイオンレンズとする。光軸C方向に並ぶレンズ電極321〜325(311〜315)には、それぞれ階段状に相違する直流電圧と共通の高周波電圧とを重畳した電圧が印加される。イオンは高周波電界によって振動しつつ後方焦点位置Fに収束するとともに、直流電位勾配により加速される。このため、途中でイオンが残留ガス分子に衝突しても収束軌道から大きく外れることなく、スキマー16の通過孔を通って後段へと送られる。

請求項（抜粋）：

イオンを収束するためのイオンレンズを備えた質量分析装置において、該イオンレンズは、イオン光軸方向に延伸し、該イオン光軸の周囲に互いに分離して配設された偶数個の仮想的ポール状電極から成り、該仮想的ポール状電極は、イオン光軸方向に互いに分離された複数の金属板電極を含んで成ることを特徴とする質量分析装置。

IPC (3件)：

H01J 49/06 , G01N 27/62 , G01N 30/72

FI (4件)：

H01J 49/06 , G01N 27/62 E , G01N 27/62 X , G01N 30/72 C

引用特許：

出願人引用 (4件)

ビームガイド
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-135460 出願人：日本電子株式会社
特開昭54-078198
誘導結合プラズマ質量分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-266135 出願人：横河アナリティカルシステムズ株式会社

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審査官引用 (1件)

ビームガイド
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-135460 出願人：日本電子株式会社

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