特許
J-GLOBAL ID：200903073083273081
写像性の評価方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
手島 孝美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-299940
公開番号（公開出願番号）：特開2007-155709
出願日： 2006年11月06日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
【課題】目視外観検査法によって評価されていたワーク表面の綺麗さや質といった表面性状を定量的に評価する方法を提供する。 【解決手段】撮像素子(12)の対物レンズを中心としてリングパターンを配置してなる基準パターン(14)を筒状ケース(11)の上下方向の中間に設けられたプローブ(10)を用い、プローブの先端をワーク表面に当ててワーク表面と基準パターンとを相互に対面させ、光源の光によって基準パターンを照明してワーク表面に基準パターンの反射像を写し、その反射像を撮像素子によって撮像し、得られた画像のリングパターンの中心から径方向に延びる複数の線上における画像データの輝度分布の振幅の標準偏差を求め、得られた標準偏差と、基準鏡面について複数の線上における画像データの輝度分布の振幅の標準偏差との相対値を鏡面度とし、複数の線についての鏡面度からワーク表面の写像性を評価する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ワーク表面の写像性を評価するにあたり、
先端が開放された筒状ケース内に撮像素子を内蔵しかつ撮像素子の対物レンズを中心としてリングパターンを配置してなる基準パターンが筒状ケースの上下方向の中間に設けられたプローブを用い、
プローブの先端をワーク表面に当ててワーク表面と基準パターンとを相互に対面させ、光源の光によって基準パターンを照明してワーク表面に基準パターンの反射像を写し、その反射像を撮像素子によって撮像し、
得られた画像のリングパターンの中心から径方向に延びる複数の線上における画像データの輝度分布の振幅の標準偏差を求め、得られた標準偏差と、基準鏡面について予め求めておいた画像のリングパターンの中心から径方向に延びる複数の線上における画像データの輝度分布の振幅の標準偏差との相対値を鏡面度とし、複数の線についての鏡面度からワーク表面の写像性を評価するようにしたことを特徴とする写像性の評価方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2G059AA02
, 2G059BB08
, 2G059EE02
, 2G059GG02
, 2G059KK04
