特許
J-GLOBAL ID：200903073135936351

感放射線性樹脂組成物

発明者：
小林 英一

小林 英一 について

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宮本 昌宏

宮本 昌宏 について

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岩永 伸一郎

岩永 伸一郎 について

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陳 姚紅

陳 姚紅 について


出願人/特許権者：
ジェイエスアール株式会社

ジェイエスアール株式会社 について


代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-290249
公開番号（公開出願番号）：特開2001-109142
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】 遠紫外線の如き短波長放射線のみならず、通常の紫外線にも感応し、高感度、高解像度で、矩形のレジストパターンを形成することができ、かつ塩基性化合物の存在下でも保存安定性に優れたポジ型およびネガ型の感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 ポジ型感放射線性樹脂組成物は、(A)感放射線性酸発生剤、(B)N-エチルカルバゾール、9,9’-ジエチル-3,3’-ジカルバゾール等で代表されるカルバゾール化合物からなる増感剤、並びに(C)(イ)その酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる酸解離性基含有樹脂、または(ロ)アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ溶解性制御剤を含有する。ネガ型感放射線性樹脂組成物は、前記(A)成分と(B)成分、(C)アルカリ可溶性樹脂、並びに(D)架橋剤を含有する
請求項（抜粋）：
(A)感放射線性酸発生剤、(B)下記式(1)または式(2)で表されるカルバゾール化合物の群から選ばれる少なくとも1種からなる増感剤、【化1】【化2】〔式(1)および式(2)において、R1 はハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、ニトロ基または炭素数1〜19の1価の有機基を示し、複数存在するR1 は相互に同一でも異なってもよく、yおよびzはそれぞれ0〜4の整数、mおよびnはそれぞれ0〜2の整数であり、Zは炭素数1〜18の1価の有機基を示し、複数存在するZは相互に同一でも異なってもよい。〕並びに(C)(イ)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、または(ロ)アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ溶解性制御剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/3417 ,  C08K 5/36 ,  C08L101/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027
FI (8件)：
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/3417 ,  C08K 5/36 ,  C08L101/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (49件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB29 ,  2H025CB41 ,  2H025CB42 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  4J002BC121 ,  4J002BG011 ,  4J002BH021 ,  4J002CC031 ,  4J002CC032 ,  4J002CC162 ,  4J002CC182 ,  4J002CC192 ,  4J002CD002 ,  4J002CE001 ,  4J002EE028 ,  4J002EH008 ,  4J002EJ019 ,  4J002ET019 ,  4J002EU027 ,  4J002EU189 ,  4J002EV008 ,  4J002EV027 ,  4J002EV176 ,  4J002EV216 ,  4J002EV236 ,  4J002EV246 ,  4J002EV296 ,  4J002EX038 ,  4J002FD142 ,  4J002FD149 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002FD208 ,  4J002GP03
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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