特許
J-GLOBAL ID：200903097836853198

感光性樹脂組成物および感光性樹脂組成物のドライエッチング耐性向上方法

発明者：
高橋 修一

高橋 修一 について


出願人/特許権者：
クラリアント インターナショナル リミテッド

クラリアント インターナショナル リミテッド について


代理人 (1件)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-160763
公開番号（公開出願番号）：特開2000-352816
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：
【要約】【目的】良好なパターンを形成することができ、高感度、高解像力を維持した上で、ドライエッチング耐性の大幅な向上を可能にする方法およびそれによって得られた感光性樹脂組成物を提供する。【構成】アルカリ可溶性樹脂、感光性物質、および感光性物質100重量部に対し0.0001〜1.0重量部のけい光物質を含有する感光性樹脂組成物において、該アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量を、感度向上剤を含有せず、前記感光性樹脂組成物と同じ感度を示す感光性樹脂組成物で用いられるアルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量より少なくとも5%高くすることでドライエッチング耐性を向上させる。けい光物質は、感度向上効果が高いので微量の添加により感度を向上させることができ、アルカリ可溶性樹脂の高分子化により低下した感度を、感光性樹脂組成物のドライエッチング耐性を低下させることなく向上させることができる。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂、感光性物質および感度向上剤としてのけい光物質を含有してなる感光性樹脂組成物であって、該アルカリ可溶性樹脂が、前記感光性樹脂組成物と同じ感度を有するが、感度向上剤を含有せずかつ重量平均分子量の異なるアルカリ可溶性樹脂を用いることを除き同じ組成である感光性樹脂組成物に用いられるアルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量に比べ少なくとも5%高い重量平均分子量を有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/004 503 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00
FI (4件)：
G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/023 511 ,  H05K 3/00 F ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (12件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025BE00 ,  2H025CA41 ,  2H025CB52 ,  2H025CB55
引用特許：
審査官引用 (4件)
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