特許
J-GLOBAL ID：200903073146277201

感光性樹脂組成物用アルカリ現像液

発明者：
長 俊連

長 俊連 について

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山西 英次

山西 英次 について

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三宮 妙子

三宮 妙子 について


出願人/特許権者：
多摩化学工業株式会社

多摩化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 成瀬 勝夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-299455
公開番号（公開出願番号）：特開2001-117240
出願日： 1999年10月21日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 金属イオンを実質的に含まない有機質成分のみを用い、使用途中における炭酸ガスの吸収による経時的変化やパーティクルの発生を可及的に抑制することができ、繰り返し使用が可能で均一現像性に優れ、しかも、スカムや膜残りの問題がなく、優れたレジストパターンや着色パターンを形成することができる実質的に金属イオンを含まない感光性樹脂組成物用アルカリ現像液を提供する。【解決手段】 有機アルカリの炭酸塩及び/又は炭酸水素塩と有機強アルカリとを含み、実質的に金属不純物を含まないアルカリ水溶液からなる感光性樹脂組成物用アルカリ現像液である。
請求項（抜粋）：
有機アルカリの炭酸塩及び/又は炭酸水素塩と有機強アルカリとを含み、実質的に金属不純物を含まないアルカリ水溶液からなることを特徴とする感光性樹脂組成物用アルカリ現像液。
IPC (2件)：
G03F 7/32 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F 7/32 ,  H01L 21/30 569 E
Fターム (11件)：
2H096AA25 ,  2H096AA28 ,  2H096EA02 ,  2H096EA06 ,  2H096EA07 ,  2H096GA08 ,  2H096GA09 ,  2H096GA11 ,  2H096GA13 ,  2H096GA17 ,  5F046LA12
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (6件)
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