ガスレーザ装置用コロナ予備電離電極

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：韮澤弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-220800
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044544
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】誘電体物質で覆った第1電極と第2電極とからなるガスレーザ装置用コロナ予備電離電極において、電界を集中させ、紫外線を遮らずに、レーザガス流を妨げずに効率良く安定して均一にコロナ予備電離可能にする。【解決手段】レーザガス2を電離して励起するための一対の主放電電極3、4と共にガスレーザ装置中に配置され、誘電体物質12で覆われた第1電極11と、誘電体物質12の外面に当接して配置される第2電極13とからなり、主放電電極の何れか一方4の近傍に配置されるコロナ予備電離電極10において、第2電極13は少なくとも誘電体物質12の外面に接触する直線状のエッヂ13’を有する板状体からなり、その板状体のエッヂ13’以外の部分に、予備電離用紫外光及び循環レーザガス通過用の複数の開口が設けられている。

請求項（抜粋）：

レーザガスを電離して励起するための一対の主放電電極と共にガスレーザ装置中に配置され、誘電体物質で覆われた第1電極と、第1電極の周囲の誘電体物質の外面に当接して配置される第2電極とからなり、主放電電極の何れか一方の近傍に配置されるコロナ予備電離電極において、前記第2電極は少なくとも前記誘電体物質の外面に接触する直線状のエッヂを有する板状体からなり、その板状体の前記エッヂ以外の部分に、予備電離用紫外光及び循環レーザガス通過用の複数の開口が設けられていることを特徴とするガスレーザ装置用コロナ予備電離電極。

IPC (2件)：

H01S 3/0977 , H01S 3/038

FI (2件)：

H01S 3/097 E , H01S 3/03 B

Fターム (7件)：

5F071AA06 , 5F071CC06 , 5F071CC10 , 5F071EE02 , 5F071FF04 , 5F071GG03 , 5F071JJ07

引用特許：

出願人引用 (8件)

コロナ発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-091431 出願人：サイマー・インク
レーザーのコロナ予備電離装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-226043 出願人：住友重機械工業株式会社
特開平3-166781

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審査官引用 (8件)

コロナ発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-091431 出願人：サイマー・インク
レーザーのコロナ予備電離装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-226043 出願人：住友重機械工業株式会社
特開平3-166781

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