感光性樹脂版用露光装置、および有機EL素子の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-101413
公開番号（公開出願番号）：特開2008-216949
出願日： 2007年04月09日
公開日（公表日）： 2008年09月18日
要約：

【課題】凸部が感光性樹脂層で構成されている印刷用凸版からの溶出物を低減するための後露光工程を、適切かつ簡便におこなうための感光性樹脂版用露光装置、及び該装置により製版された印刷用凸版、該印刷用凸版を用いて製造された有機EL素子を提供する。【解決手段】耐圧性の密閉容器の内部に、波長が200〜300nmに光強度のピークを持つ光源及び300〜400nmに光強度のピークを持つ光源を有し、かつ、前記密閉容器内部を減圧にするための真空ポンプと、不活性ガス供給手段と、前記密閉容器内部を不活性ガスに置換する手段と、を少なくとも有することを特徴とする感光性樹脂版用露光装置である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

耐圧性の密閉容器の内部に、波長が200〜300nmに光強度のピークを持つ光源及び300〜400nmに光強度のピークを持つ光源を有し、かつ、前記密閉容器内部に接続された真空ポンプと、不活性ガス供給手段と、前記密閉容器内部を不活性ガスに置換する手段と、を少なくとも有することを特徴とする感光性樹脂版用露光装置。

IPC (5件)：

G03F 7/20 , H05B 33/10 , H01L 51/50 , B41N 1/12 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F7/20 501 , H05B33/10 , H05B33/14 A , B41N1/12 , H01L21/30 570

Fターム (24件)：

2H084AA30 , 2H084BB04 , 2H084CC01 , 2H097AA20 , 2H097BB02 , 2H097GA01 , 2H097JA05 , 2H097JA06 , 2H097LA13 , 2H114AA01 , 2H114AA27 , 2H114BA01 , 2H114DA41 , 2H114EA06 , 2H114FA10 , 2H114GA26 , 3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC45 , 3K107DD70 , 3K107GG07 , 5F046AA22 , 5F046CA10 , 5F046DB03

引用特許：

出願人引用 (3件)

アクティブマトリックス型有機EL表示体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-158671 出願人：セイコーエプソン株式会社
有機EL素子およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-104614 出願人：セイコーエプソン株式会社
有機EL素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-332276 出願人：シャープ株式会社

審査官引用 (6件)

画像記録装置および画像記録方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-224029 出願人：富士写真フイルム株式会社
処理装置および該処理装置を用いたデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-015102 出願人：キヤノン株式会社
半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-053734 出願人：川崎製鉄株式会社

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