特許
J-GLOBAL ID：200903073182703411

プラズマ処理装置の運転状態判定方法、運転状態判定装置、プログラム及び記憶媒体

発明者：
山▲崎▼ 善裕

山▲崎▼ 善裕 について

, 
田中 秀樹

田中 秀樹 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (5件)： 別役 重尚 ,  村松 聡 ,  後藤 夏紀 ,  池田 浩 ,  二宮 浩康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-242486
公開番号（公開出願番号）：特開2007-059585
出願日： 2005年08月24日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：
【課題】 第2のプラズマ処理装置に第1のプラズマ処理装置に適用される処理条件を適用した場合における運転状態を判定することができるプラズマ処理装置の運転状態判定方法を提供する。 【解決手段】 システムコントローラ32におけるCPU33は、各運転状態データ群の全てを用いて主成分分析を行い、各運転状態データ群における各処理パラメータ値を主成分得点に換算して選択された主成分を軸とする2次元座標系にプロットし、基準装置第1レシピ運転状態データ群から被適用装置第1レシピ運転状態データ群までの移動ベクトルPを算出し、基準装置第2レシピ運転状態データ群に対応する領域A2を設定し、領域A2を移動ベクトルPに従って移動して予測正常領域B2を設定し、被適用装置に第2レシピを適用した際の各処理パラメータ値に対応する主成分得点が予測正常領域B2に含まれているか否かを判定する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
第1のプラズマ処理装置に適用される処理条件を第2のプラズマ処理装置に適用した場合における当該第2のプラズマ処理装置の運転状態を判定するプラズマ処理装置の運転状態判定方法であって、 前記第1のプラズマ処理装置に適用される第1の処理条件に応じて実行されるプラズマ処理において計測された処理パラメータ値からなる第1の運転状態データ群を取得する第1の運転状態データ群取得ステップと、 前記第1のプラズマ処理装置に適用される第2の処理条件に応じて実行されるプラズマ処理において計測された処理パラメータ値からなる第2の運転状態データ群を取得する第2の運転状態データ群取得ステップと、 前記第2のプラズマ処理装置に適用される前記第1の処理条件に応じて実行されるプラズマ処理において計測された処理パラメータ値からなる第3の運転状態データ群を取得する第3の運転状態データ群取得ステップと、 前記取得された第1の運転状態データ群、第2の運転状態データ群、及び第3の運転状態データ群のうち少なくとも1つを用いて主成分分析を行う主成分分析ステップと、 前記第1の運転状態データ群、第2の運転状態データ群、及び第3の運転状態データ群を用いた前記主成分分析によって得られた複数の主成分のうちから選択された2つの主成分に対応する主成分得点を、前記2つの主成分を軸とする2次元座標系にプロットする主成分得点プロットステップと、 前記2次元座標系における前記第1の運転状態データ群、第2の運転状態データ群、及び第3の運転状態データ群のそれぞれに対応する主成分得点分布の中心を算出する分布中心算出ステップと、 前記第1の運転状態データ群に対応する主成分得点分布の中心から前記第3の運転状態データ群に対応する主成分得点分布の中心までの移動ベクトルを算出する移動ベクトル算出ステップと、 前記2次元座標系において前記第2の運転状態データ群に対応する主成分得点分布の領域を設定する分布領域設定ステップと、 前記設定された第2の運転状態データ群に対応する主成分得点分布の領域を前記移動ベクトルに従って移動させることにより、前記第2のプラズマ処理装置に前記第2の処理条件を適用した場合に実行されるプラズマ処理において計測される処理パラメータ値の前記2つの主成分に対応する主成分得点の前記2次元座標系における予測分布の領域を設定する予測分布領域設定ステップと、 実際に前記第2のプラズマ処理装置に前記第2の処理条件を適用し、前記第2の処理条件に応じて実行されるプラズマ処理において計測された処理パラメータ値の前記2つの主成分に対応する主成分得点が前記設定された予測分布の領域に含まれているか否かを判定する主成分得点包含判定ステップとを有することを特徴とする運転状態判定方法。
IPC (1件)：
H01L 21/306
FI (1件)：
H01L21/302 101G
Fターム (7件)：
5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB07 ,  5F004BB22 ,  5F004BB28 ,  5F004CA08 ,  5F004CA09
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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