特許
J-GLOBAL ID：200903073207591893
有機電子デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉田 研二
, 石田 純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-245447
公開番号（公開出願番号）：特開2004-087253
出願日： 2002年08月26日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】曲げ応力耐性が高く、かつ防湿性の高い、有機電子素子などに最適な保護膜の提供。【解決手段】有機電子素子の保護膜として、有機電子素子を覆って第2保護膜22を形成し、有機電子素子と基板10との間に第1保護膜20を形成する。この第1及び第2保護膜20,22のいずれか又は両方を、少なくともプラズマ重合膜24によって気相成長無機膜26を挟んだ積層構造とする。気相成長無機膜26をプラズマ重合膜24で挟むことで、気相成長無機膜26との間で生ずる応力を相殺でき、気相成長無機膜26の曲げ応力耐性が向上する。少なくとも積層構造を採用した第2保護膜22は、有機電子素子を被覆するのに十分な総膜厚とする一方で、気相成長無機膜26の膜厚はできるだけ薄くして無機膜の曲げ応力耐性等が向上し、長期間の高い防湿性の維持が可能となる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
有機電子デバイスにおいて、
基材上に、
少なくとも電極と有機化合物層を備える有機電子素子と、
前記有機電子素子を覆って形成された保護膜及び前記有機電子素子と前記基材との間に形成された保護膜のいずれか一方又は両方、を備え、
前記保護膜は、気相成長無機膜と、有機化合物を少なくとも1種含む材料を用いて形成されたプラズマ重合膜と、が交互に積層され、かつ前記プラズマ重合膜が前記気相成長無機膜を挟んで形成されている積層膜を含むことを特徴とする有機電子デバイス。
IPC (4件)：
H05B33/04
, G02F1/1333
, H05B33/02
, H05B33/14
H05B33/04
, G02F1/1333 505
, H05B33/02
, H05B33/14 A
2H090HB02X
, 2H090HB07X
, 2H090HC03
, 2H090HD01
, 3K007AB11
, 3K007AB12
, 3K007AB13
, 3K007AB15
, 3K007BA07
, 3K007BB02
, 3K007CA06
, 3K007DB03
, 3K007FA02
