パーティクル除去方法及びその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-308090
公開番号（公開出願番号）：特開平8-141529
出願日： 1994年11月17日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：

【要約】【目的】被処理体表面上のパーティクルを吸引除去することができるパーティクル処理装置を提供することにある。【構成】保持台4上に被処理体Wを保持させて、この表面に吸引ノズル32を接近させる。そして、吸引手段6を駆動させることにより吸引ノズルから被処理体表面近傍の気体を吸い込み、この時、表面に付着しているパーティクルPも巻き込んでこれを除去する。

請求項（抜粋）：

被処理体の表面に付着したパーティクルを除去するパーティクル除去装置において、前記被処理体を保持する保持台と、この保持台の上方に位置する吸引ノズルを有する吸引手段とを備え、前記保持台と前記吸引ノズルを相対移動させつつ前記被処理体の表面に付着したパーティクルを除去するように構成したことを特徴とするパーティクル除去装置。

IPC (3件)：

B08B 5/00 , H01L 21/304 341 , H01L 21/304

引用特許：

審査官引用 (7件)

塵埃除去装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-322974 出願人：日本電信電話株式会社
異物除去方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-045924 出願人：ヤマハ株式会社
特開平4-068527

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