感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に於ける化合物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：高松猛 , 矢澤清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-247248
公開番号（公開出願番号）：特開2009-080161
出願日： 2007年09月25日
公開日（公表日）： 2009年04月16日
要約：

【課題】感度に優れ、パターンプロファイルが良好で、現像欠陥が少ない、感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に於ける化合物を提供する。また、液浸露光においても上記性能が良好である、液浸露光に好適な感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に於ける化合物を提供する。【解決手段】(A)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂及び(A’)特定の一般式で表されるトリフェニルスルホニウム構造を有する繰り返し単位(a0)を有する樹脂を含有し、且つ、樹脂(A)及び/又は樹脂(A’)が、ラクトン構造及びシアノ基を有する繰り返し単位(a1)を有する樹脂である感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に於ける化合物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂及び(A’)下記一般式(1)で表されるトリフェニルスルホニウム構造を有する繰り返し単位(a0)を有する樹脂を含有し、且つ、樹脂(A)及び/又は樹脂(A’)が、ラクトン構造及びシアノ基を有する繰り返し単位(a1)を有する樹脂であることを特徴とする感光性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/004 , G03F 7/039 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F7/004 503A , G03F7/039 601 , H01L21/30 502R

Fターム (16件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BF02 , 2H025BG00 , 2H025CB08 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025FA03 , 2H025FA17

引用特許：

出願人引用 (10件)

特開昭57-153433号公報
国際公開第07-069640号パンフレット
パターン形成方法及びその露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-008136 出願人：株式会社日立製作所

全件表示

前のページに戻る