特許
J-GLOBAL ID：200903073338915171
基板搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 内藤 浩樹
, 永野 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-369654
公開番号（公開出願番号）：特開2007-173553
出願日： 2005年12月22日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：
【課題】コスト増及び信頼性の低下につながるセンサの付加を必要とすることなく効率的に基板を搬送することができる基板搬送装置を提供することを目的とする。【解決手段】第1の位置から第2の位置を経由して基板3を搬送する搬送機構21と、基板3が第1の位置に到達したことを検出するとともに第1の位置を通過したことを検出する第1の検出手段22、31と、基板3が第2の位置に到達したことを検出する第2の検出手段23、31と、搬送機構21の駆動を制御して基板3の搬送速度を調整する制御部30とを備え、第1の検出手段22、31により基板3が第1の位置を通過したことが検出されると搬送機構21の駆動を低減し、第2の検出手段23、31により基板3が第2の位置に到達したことが検出されると搬送機構21の駆動を停止する制御を行うようにした。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
第1の位置から第2の位置を経由して基板を搬送する搬送手段と、前記基板が前記第1の位置に到達したことを検出するとともに前記第1の位置を通過したことを検出する第1の検出手段と、基板が前記第2の位置に到達したことを検出する第2の検出手段と、前記搬送手段の駆動を制御して基板の搬送速度を調整する制御手段とを備え、
前記制御手段が、前記第1の検出手段により基板が前記第1の位置を通過したことが検出されると前記搬送手段の駆動を低減し、前記第2の検出手段により基板が前記第2の位置に到達したことが検出されると前記搬送手段の駆動を停止する制御を行うことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
5E313AA11
, 5E313CC04
, 5E313DD02
, 5E313DD03
, 5E313DD12
, 5E313DD14
, 5E313DD50
, 5E313EE24
, 5E313EE35
, 5E313FG01
出願人引用 (2件)
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特開昭63-204800号公報
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基板搬送方法およびその装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-308253
出願人：株式会社テンリュウテクニックス
審査官引用 (2件)
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