特許

J-GLOBAL ID：200903073389514538

真空吸着装置

発明者： 船戸 学
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-388524
公開番号（公開出願番号）：特開2003-191191
出願日： 2001年12月20日
公開日（公表日）： 2003年07月08日
要約：

【要約】【課題】 耐久性があり、かつ反りのある基板をも傷つけることなく安定して搬送できる真空吸着装置を供給する。【解決手段】 ガラス基板1を保持する真空吸着部4を、ガラス基板1と接するシート部材7と、シート部材7の下面に設けられてシート部材7とロボットアーム3とに接合される弾性部材6と、この弾性部材6とシート部材7とを貫通し、ガラス基板1に真空圧を作用させる真空吸着穴8とから構成した。ガラス基板1を搬送する際は、弾性部材6を弾性変形させてシート部材7をガラス基板1に接触させ、ガラス基板1とシート部材7で囲まれた空間を真空吸着穴8から真空排気し、ガラス基板1に真空圧を作用させて真空吸着部4に保持させて、所定の位置まで搬送する。

請求項（抜粋）：

基板を真空吸着して搬送する搬送ロボットアームに設けられた真空吸着装置であって、真空作用により前記基板を支える真空吸着部は、前記基板と接するシート部材と、該シート部材の下面に設けられて、前記シート部材と前記ロボットアームとに接合される弾性部材と、該弾性部材と前記シート部材とを貫通し、前記基板に真空圧を作用させる真空吸着穴とからなり、前記弾性部材は、前記シート部材に比べ軟質で、弾性を有することを特徴とする真空吸着装置。

IPC (3件)：

B25J 15/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B25J 15/06 H ,  B25J 15/06 M ,  B65G 49/07 G ,  H01L 21/68 B

Fターム (16件)：

3C007AS01 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007DS02 ,  3C007FS01 ,  3C007FT07 ,  3C007FT16 ,  3C007NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA08 ,  5F031GA24 ,  5F031GA32 ,  5F031PA13

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ロボットハンド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-362753   出願人：三菱電機株式会社
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-239077   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 基板保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-291990   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド