特許

J-GLOBAL ID：200903073426949418

光偏向器

発明者： 谷 雅直 ,  安田 喜昭 ,  赤松 雅洋 ,  四十物 孝憲
出願人/特許権者： スタンレー電気株式会社
代理人 (5件)： 佐藤 辰彦 ,  堀 進 ,  鷺 健志 ,  本間 賢一 ,  加賀谷 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-010060
公開番号（公開出願番号）：特開2009-169325
出願日： 2008年01月21日
公開日（公表日）： 2009年07月30日
要約：

【課題】圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、ミラーの駆動状態を迅速に精度良く検出して制御可能な光偏向器を提供する。【解決手段】光偏向器A,A’は、反射面1bを有するミラー部1と、一端がトーションバー2a,2bに連結され他端が支持部10に連結されて支持された第1の圧電アクチュエータ8a〜8dとを備え、第1の圧電アクチュエータ8a〜8dの圧電駆動によりトーションバー2a,2bを介してミラー部1を回転駆動させる。光偏向器は、一端がトーションバー2a,2bに連結され他端がミラー部1に連結されて支持された第2の圧電アクチュエータ9a〜9dを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

反射面を有するミラー部と、該ミラー部の端部から外側に延びたトーションバーと、該ミラー部を囲むように設けられた支持部と、一端が該トーションバーに連結され他端が該支持部に連結されて支持された第1の圧電アクチュエータとを備え、該第1の圧電アクチュエータは、支持体上に形成された圧電体に駆動電圧を印加したとき圧電駆動により屈曲変形を行う1つ以上の圧電カンチレバーからなり、該第1の圧電アクチュエータの圧電駆動により該トーションバーを介して該ミラー部を回転駆動させる光偏向器において、 一端が前記トーションバーに連結され他端が前記ミラー部に連結されて支持された第2の圧電アクチュエータを備え、該第2の圧電アクチュエータは、支持体上に形成された圧電体に駆動電圧を印加したとき圧電駆動により屈曲変形を行う1つ以上の圧電カンチレバーからなることを特徴とする光偏向器。

IPC (5件)：

G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  G03B 21/14 ,  B41J 2/44 ,  B81B 3/00

FI (6件)：

G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 A ,  G02B26/08 E ,  G03B21/14 Z ,  B41J3/00 D ,  B81B3/00

Fターム (46件)：

2C362BA18 ,  2C362BB44 ,  2H045AB34 ,  2H045AB38 ,  2H045AB44 ,  2H045AB73 ,  2H045DA02 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC09 ,  2H141MD12 ,  2H141MD16 ,  2H141MD20 ,  2H141MD23 ,  2H141MD24 ,  2H141MD40 ,  2H141MF05 ,  2H141MG04 ,  2H141MG06 ,  2H141MG07 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ13 ,  2H141MZ15 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ20 ,  2H141MZ26 ,  2K103AB10 ,  2K103BC03 ,  2K103BC47 ,  2K103CA26 ,  2K103CA53 ,  2K103CA54 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA46 ,  3C081BA47 ,  3C081BA55 ,  3C081BA76 ,  3C081CA02 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA27 ,  3C081CA28 ,  3C081DA04 ,  3C081DA27 ,  3C081EA08

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 光走査装置及びこれを用いた物体検出装置、描画装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-012458   出願人：日産自動車株式会社
• 光偏向器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-034967   出願人：日本ビクター株式会社
• 偏向器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-378552   出願人：オリンパス株式会社
• バルブガイド構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-360502   出願人：日野自動車株式会社