特許
J-GLOBAL ID:200903042165258207
偏向器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
斎藤 圭介
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-378552
公開番号(公開出願番号):特開2006-184603
出願日: 2004年12月28日
公開日(公表日): 2006年07月13日
要約:
【課題】十分な設計自由度を得ることができ、かつ可動板の変位角度を正確に検出できる偏向器を提供すること。【解決手段】ミラー101と、ベースフレーム107と、ベースフレーム107に対してミラー101を揺動可能に支持する一対のトーションバー105a、105bと、ミラー101に設けられた駆動コイル102と、駆動コイル102に作用する磁束を生成する永久磁石108a、108bと、ミラー101の揺動角を電気特性の変化として出力する静電容量センサ230a、230bと、駆動コイル102の二端のうち第一端と静電容量センサ230a、230bの電気端子の一端とをミラー101上で電気的に接続する接続部220と、接続部220からトーションバー105a、105bを通してベースフレーム107へ至る第一の配線111とを有する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
可動板と、
固定部と、
前記固定部に対して前記可動板を揺動可能に支持する一対の弾性部材と、
前記可動板に設けられた駆動コイルと、
前記駆動コイルに作用する磁束を生成する磁束発生手段と、
前記可動板の揺動角を電気特性の変化として出力する角度検出手段と、
前記駆動コイルの二端のうち第一端と前記角度検出手段の電気端子の一端とを前記可動板上で電気的に接続する接続部と、
前記接続部から前記弾性部材を通して前記固定部へ至る第一の配線と、
を有することを特徴とする偏向器。
IPC (5件):
G02B 26/10
, B81B 3/00
, B81B 7/02
, G01B 7/30
, G02B 26/08
FI (5件):
G02B26/10 104Z
, B81B3/00
, B81B7/02
, G01B7/30 D
, G02B26/08 E
Fターム (22件):
2F063AA35
, 2F063BB10
, 2F063CA08
, 2F063DA01
, 2F063DA05
, 2F063DA08
, 2F063DD03
, 2F063HA01
, 2F063HA04
, 2F063LA06
, 2F063LA23
, 2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC04
, 2H041AZ02
, 2H041AZ06
, 2H041AZ08
, 2H045AB16
, 2H045AB34
, 2H045AB44
, 2H045AB54
, 2H045AB72
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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