特許
J-GLOBAL ID：200903073455118800
切断部を分析するための方法と装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安達 光雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-095347
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288585
出願日： 1998年03月23日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 材料の鋸引きの品質を分析するシステムを提供する。【解決手段】 走査装置、切断部パラメーター識別装置および切断部分析装置でシステムを構成する。走査装置が材料の切断部に沿って走査しかつ切断部の少なくとも一部分を観察する。切断部パラメーター識別装置が観察した切断部部分のパラメーターを識別しかつ記憶する。切断分析装置が多数の観察した切断部部分のパラメーターを分析しかつそれから切断部の品質を決定する。【効果】 切断部パラメーターを分析することにより鋸引き欠け目と非欠け目とを区別して鋸引き欠け目がダイに近すぎないか、また鋸刃の配列が適正であるかを決定できる。
請求項（抜粋）：
材料の鋸引きの品質を分析するためのシステムにおいて、そのシステムが:a.前記材料の切断部に沿って走査しかつ少なくとも切断部の一部分を観察する走査手段;b.前記の観察した切断部部分のパラメーターを識別しかつ記憶する切断部パラメーター識別装置;およびc.多数の観察した切断部部分の前記パラメーターを分析しかつそれから前記切断部の品質を決定する切断部分析装置を含むことを特徴とするシステム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 E
, H01L 21/66 J
