特許
J-GLOBAL ID：200903073523411570
真空装置、真空装置の運転方法、露光装置、及び露光装置の運転方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-016646
公開番号（公開出願番号）：特開2005-101492
出願日： 2004年01月26日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：
【課題】 チャンバの変形やステージ等への振動の伝達を抑制し、露光性能の悪化の低減を図ることができる等の利点を有する真空装置及び露光装置を提供する。【解決手段】この露光装置100は、レチクルチャンバ135の外側に上真空チャンバ140を有するとともに、ウェハチャンバ155の外側に下真空チャンバ160を有する2重シェル構造を備えている。レチクルチャンバ135、ウェハチャンバ155のそれぞれには、クライオポンプCPと、ターボ分子ポンプTMP・ドライポンプDPとが並列接続されている。露光装置100の露光動作中及びアライメント中は、クライオポンプCP(無振動型真空ポンプ)のみを運転し、ターボ分子ポンプTMP・ドライポンプDP(有振動型真空ポンプ)は停止する。こうすることで、露光装置100の露光動作中及びアライメント中に有振動真空ポンプからの振動伝達を断ち、ステージ装置137、157の精度を一層確保することができるので、露光性能の悪化を一層低減することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
真空下において運転される複数のコンポーネントと、これらの各コンポーネントをそれぞれ収容する複数の内チャンバと、これらの各内チャンバ間を連結するベローズと、前記複数の内チャンバ全体を収容する外チャンバと、前記各内チャンバ及び前記外チャンバに付設された排気手段とを具備することを特徴とする真空装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/30 531A
, H01L21/30 503F
