平坦化するための窓を有する研磨パッド

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山本秀策 , 安村高明 , 森下夏樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-539871
公開番号（公開出願番号）：特表2005-538571
出願日： 2003年09月18日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：

窓を有する研磨パッドが記載される。この研磨パッドは、第1層および第2層を備える。開口部を有する第1層は、パッドの作業表面または研磨層として機能し得る。この第2層の少なくとも一部分は、少なくとも部分的に透明な窓を含む。特定の実施形態では、研磨パッドは、a.開口部を有する第1層;およびb.第2層であって、該第2層の少なくとも一部分は、少なくとも部分的に透明な窓を備える、第2層を備え、ここで、該第1層は、該第2層に少なくとも部分的に接続しており、該第1層は、該第1層の重量の合計を基準にして少なくとも2重量パーセントの研磨スラリーを吸収する。

請求項（抜粋）：

研磨パッドであって、以下: a.開口部を有する第1層;および b.第2層であって、該第2層の少なくとも一部分は、少なくとも部分的に透明な窓を備える、第2層を備え、ここで、該第1層は、該第2層に少なくとも部分的に接続しており、該第1層は、該第1層の重量の合計を基準にして少なくとも2重量パーセントの研磨スラリーを吸収する、研磨パッド。

IPC (2件)：

H01L21/304 , B24B37/00

FI (3件)：

H01L21/304 622F , H01L21/304 622S , B24B37/00 C

Fターム (6件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058DA12 , 3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (8件)

研磨装置および研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-319181 出願人：住友金属工業株式会社
研磨用パッドおよびそれを用いた研磨装置及び研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-388339 出願人：東レ株式会社
研磨用パッドおよび研磨装置ならびに研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-253071 出願人：東レ株式会社

全件表示

前のページに戻る