特許
J-GLOBAL ID：200903073577509444

研磨状態測定方法

発明者：
小山 元夫

小山 元夫 について

, 
中平 法生

中平 法生 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-023672
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223451
出願日： 1999年02月01日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：
【要約】【課題】 被研磨部材を研磨体の表面に押し付け、研磨剤を供給しながら、被研磨部材と研磨体とに相対運動を与えて研磨する間に、入射光を被研磨部材に照射して得られる信号光から研磨状態を測定する際、従来は信号光の取得が研磨体1回転に付き1回であったので、研磨中の表面状態の測定が精度良くできないという問題があった。【解決手段】研磨ヘッドに保持した被研磨部材を回転運動する研磨体の表面に押し付けつつ、研磨剤を供給しながら、被研磨部材と研磨体とに相対運動を与えながら、被研磨部材の被研磨面を研磨する間に、入射光を研磨体が具えた2個以上の光学窓を通して被研磨部材に照射し、研磨体が1回転する毎に各光学窓から信号光を取得して被研磨部材の研磨状態を測定することによって上記課題を解決した。
請求項（抜粋）：
研磨ヘッドに保持した被研磨部材を回転運動する研磨体の表面に押し付けつつ、研磨剤を供給しながら、前記被研磨部材と前記研磨体とに相対運動を与えながら、前記被研磨部材の被研磨面を研磨する際に、入射光を前記被研磨面に照射して得られる信号光から研磨状態を測定する方法であって、前記研磨体が具えた2個以上の光学窓に入射光と信号光を通す段階、前記研磨体が1回転する毎に前記各光学窓から信号光を取得して前記被研磨面の研磨状態を測定する段階を有することを特徴とする研磨状態測定方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 622 ,  B24B 37/04
FI (2件)：
H01L 21/304 622 S ,  B24B 37/04 K
Fターム (10件)：
3C058AA07 ,  3C058AC01 ,  3C058AC02 ,  3C058AC04 ,  3C058BA09 ,  3C058BA14 ,  3C058BC02 ,  3C058CB01 ,  3C058CB10 ,  3C058DA17
引用特許：
審査官引用 (3件)

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