欠陥分類方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-374577
公開番号（公開出願番号）：特開2002-174603
出願日： 2000年12月08日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】【課題】欠陥分類の判定精度を向上すること。【解決手段】学習時に、予めクラス分類された教師サンプルを用いて特徴ベクトルの算出(ステップS11〜S14)、基底変換行列の決定(ステップS15〜S17)、教師サンプルの基底変換(ステップS18)、の順に処理を行い、基底変換行列及び基底変換後の教師サンプルを学習データとして記憶する。分類判定時には、検査サンプルの特徴ベクトルを算出した後(ステップS21〜S24)、学習時に得た基底変換行列でこれを基底変換し(ステップS25)、次元数を圧縮した状態で教師サンプルの各クラスとの類似度を比較する(ステップS26)。

請求項（抜粋）：

予めクラス分類された教師サンプルより得られたM次元特徴ベクトルについて、クラス内共分散行列及びクラス間共分散行列を計算する工程と、上記クラス内共分散行列及びクラス間共分散行列を、計算を用いてクラス間分離度判定基準に変換する工程と、上記クラス間分離度判定基準に基づいた特徴ベクトルの基底変換工程と、を備えることを特徴とする欠陥分類方法。

IPC (5件)：

G01N 21/956 , G01N 21/88 , G06T 7/00 250 , G06T 9/20 , H05K 3/00

FI (5件)：

G01N 21/956 B , G01N 21/88 J , G06T 7/00 250 , G06T 9/20 , H05K 3/00 Q

Fターム (42件)：

2G051AA65 , 2G051AB07 , 2G051EA11 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051ED11 , 2G051ED21 , 2G051ED30 , 2G051FA10 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CA02 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB02 , 5B057CB06 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CC01 , 5B057CD14 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB05 , 5B057DB08 , 5B057DC04 , 5B057DC08 , 5B057DC09 , 5B057DC17 , 5B057DC33 , 5L096AA06 , 5L096BA03 , 5L096CA03 , 5L096CA14 , 5L096EA43 , 5L096FA06 , 5L096HA09 , 5L096JA03 , 5L096JA05 , 5L096JA11 , 5L096JA22 , 5L096KA04

引用特許：

審査官引用 (6件)

画像処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-260465 出願人：オリンパス光学工業株式会社
多値信号識別装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-118815 出願人：三菱重工業株式会社
ウェハーテストの不良パターン自動識別装置と方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-367433 出願人：台湾茂せき電子股ふん有限公司, 茂徳科技股ふん有限公司, シーメンスアクチエンゲゼルシャフト

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