特許
J-GLOBAL ID：200903091634055453
ウェハーテストの不良パターン自動識別装置と方法
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-367433
公開番号（公開出願番号）：特開2000-195910
出願日： 1998年12月24日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：
【要約】【目的】 WATデータをより有効なものとして利用できる統計的な総合データを確立し、不良パターンの相関性を究明することにより生産性を向上させる。【構成】 ウェハーの1ロットをサンプリングしてN個のテスト項目で得られたN個のテスト結果を入力し、1つの不良パターンを基底とする識別結果を出力するものであって、N個のテスト結果を受け入れた後、N個のテスト結果をN次のテスト結果ベクトルとして表示し、テスト結果ベクトルの第i成分で第iテスト項目の不良率を表示してから、N次元のテスト結果ベクトルをN×N次の変換マトリックスと相乗してN次の不良パターンベクトルを得るとともに、不良パターンベクトルの第i成分で第i不良パターンの比率を表示し、前記不良パターンベクトルを識別結果とする。
請求項（抜粋）：
ウェハーの1ロットをサンプリングしてN個のテスト項目で得られたN個のテスト結果を入力して、1つの不良パターンを基底とする識別結果を出力するものであって、前記したN個のテスト結果を受け入れた後、前記したN個のテスト結果をN次のテスト結果ベクトルとして表示し、前記したテスト結果ベクトルの第i成分で第iテスト項目の不良率を表示してから、前記したN次元のテスト結果ベクトルをN×N次の変換マトリックスと相乗してN次の不良パターンベクトルを得るとともに、前記不良パターンベクトルの第i成分で第i不良パターンの比率を表示し、前記不良パターンベクトルを識別結果とするウェハーテストの不良パターン自動識別装置。
Fターム (6件)：
4M106AA01
, 4M106AC05
, 4M106BA20
, 4M106CA27
, 4M106DJ19
, 4M106DJ20
