特許
J-GLOBAL ID:200903073791345254
平滑化銅箔とその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-026628
公開番号(公開出願番号):特開2004-238647
出願日: 2003年02月04日
公開日(公表日): 2004年08月26日
要約:
【課題】本発明は、高いエッチングファクターを持ち、回路パターンのボトムラインの直線性に優れ、なおかつ回路パターンの樹脂中に銅粒子が残ることなく、ファインパターンが作製でき、視認性に優れ、高周波伝送ロスの少ない銅箔並びにその製造方法を提供することにある。【解決手段】本発明は、少なくとも片面の平均表面粗度がRz:0.1〜10オmの範囲内にある電解又は圧延にて製造した銅又は銅合金箔の片方もしくは両方の表面を電気化学的に溶解、平滑化させ、必要により該平滑面に銅めっき又はNiめっきを行うことを特徴とする銅箔の製造方法たことを特徴とする銅箔の製造方法、並びに該製造方法で製造された銅箔である。銅箔表面の粗さが不均一であり、或いは平均表面粗度がRz:10μm以上の箔については予め機械的研磨で平滑度を上げると良い。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
少なくとも片面の平均表面粗度がRz:0.1〜10μmの範囲内にある電解又は圧延にて製造した銅又は銅合金箔の片方もしくは両方の表面を電気化学的に溶解させ、平滑化させることを特徴とする銅箔の製造方法。
IPC (6件):
C25D7/06
, B32B15/01
, C25D5/34
, C25D5/48
, H05K1/09
, H05K3/46
FI (6件):
C25D7/06 A
, B32B15/01 H
, C25D5/34
, C25D5/48
, H05K1/09 C
, H05K3/46 S
Fターム (110件):
4E351BB01
, 4E351BB23
, 4E351BB24
, 4E351BB30
, 4E351BB33
, 4E351BB38
, 4E351CC06
, 4E351CC15
, 4E351DD04
, 4E351DD05
, 4E351DD08
, 4E351DD14
, 4E351DD17
, 4E351DD19
, 4E351GG07
, 4E351GG13
, 4F100AB01B
, 4F100AB01C
, 4F100AB01D
, 4F100AB01E
, 4F100AB02B
, 4F100AB02C
, 4F100AB13B
, 4F100AB13C
, 4F100AB15D
, 4F100AB15E
, 4F100AB16B
, 4F100AB16C
, 4F100AB16D
, 4F100AB16E
, 4F100AB17A
, 4F100AB17B
, 4F100AB17C
, 4F100AB18D
, 4F100AB18E
, 4F100AB20B
, 4F100AB20C
, 4F100AB20D
, 4F100AB20E
, 4F100AB24B
, 4F100AB24C
, 4F100AB24D
, 4F100AB24E
, 4F100AB31A
, 4F100AB31B
, 4F100AB31C
, 4F100AB33A
, 4F100AH06E
, 4F100AK52E
, 4F100AS00E
, 4F100BA01
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100BA04
, 4F100BA05
, 4F100BA06
, 4F100BA07
, 4F100BA10B
, 4F100BA10C
, 4F100BA10D
, 4F100BA10E
, 4F100BA13
, 4F100DD07A
, 4F100DE01B
, 4F100DE01C
, 4F100EH71B
, 4F100EH71C
, 4F100EH71D
, 4F100EH71E
, 4F100EJ27A
, 4F100EJ64E
, 4F100GB43
, 4F100JB02E
, 4F100JK15
, 4F100JK15A
, 4F100JK15B
, 4F100JK15C
, 4F100JL02
, 4F100YY00A
, 4K024AA02
, 4K024AA03
, 4K024AA05
, 4K024AA09
, 4K024AA10
, 4K024AA14
, 4K024AA17
, 4K024AB04
, 4K024AB06
, 4K024BA09
, 4K024BB11
, 4K024BC02
, 4K024DA01
, 4K024DA02
, 4K024DA09
, 4K024DB06
, 4K024DB10
, 4K024GA02
, 5E346AA15
, 5E346BB01
, 5E346CC31
, 5E346CC32
, 5E346CC35
, 5E346CC36
, 5E346CC37
, 5E346CC39
, 5E346CC51
, 5E346DD12
, 5E346GG02
, 5E346HH06
, 5E346HH11
引用特許:
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