特許

J-GLOBAL ID：200903073927793795

精密部材収納容器

発明者： 大堀 伸一 ,  佐藤 喜則 ,  鈴木 勤
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (3件)： 荒井 鐘司 ,  河野 尚孝 ,  嶋崎 英一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-190129
公開番号（公開出願番号）：特開2007-012793
出願日： 2005年06月29日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：

【課題】 アウトガスがより少なく、静電気によるパーティクルの付着がより少ない、精密部材収納容器を提供する。【解決手段】 熱可塑性樹脂100質量部に対して、導電性化合物を1〜10質量部含有した導電性樹脂からなり、前記導電性樹脂は、80°Cにて60分放置した時に熱脱離する揮発性有機ガスの総発生ガス量が0.3ppm以下であり、表面抵抗値が103〜108Ωであることを特徴とする。熱可塑性樹脂が粘度平均分子量10000〜30000のポリカーボネート樹脂であり、導電性化合物がDBP吸油量が300cm3/100g以上、BET比表面積が500m2/g以上の導電性カーボンブラックであること、前記ポリカーボネート樹脂は、ペレット2gを100mlの超純水に入れ、50°Cで3時間加熱した時に溶出するイオンの溶出液濃度の総量が8ppb以下であること、また、前記ポリカーボネート樹脂は、安定剤及び離型剤の添加量がが500ppm以下であることが好ましい。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

熱可塑性樹脂100質量部に対して導電性化合物1〜15質量部含有した導電性樹脂からなり、前記導電性樹脂は80°Cにて60分放置した時に熱脱離する揮発性有機ガス量が0.3ppm以下であり、表面抵抗値が103〜108Ωであることを特徴とする精密部材収納容器。

IPC (3件)：

H01L 21/673 ,  G03F 1/14 ,  B65D 85/86

FI (3件)：

H01L21/68 T ,  G03F1/14 K ,  B65D85/38 R

Fターム (24件)：

2H095BB29 ,  2H095BC36 ,  2H095BE12 ,  3E096AA01 ,  3E096BA15 ,  3E096BB03 ,  3E096CA02 ,  3E096CB02 ,  3E096DA17 ,  3E096EA02X ,  3E096FA07 ,  3E096FA08 ,  3E096FA40 ,  3E096GA20 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA12 ,  5F031EA02 ,  5F031EA03 ,  5F031EA14 ,  5F031MA27 ,  5F031PA21 ,  5F031PA26

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ペリクル収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-245823   出願人：信越ポリマー株式会社, 信越化学工業株式会社
• 光学部材用収納ケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-127789   出願人：旭硝子株式会社

審査官引用 (3件)

• 特開平4-342758
  
• ペリクル収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-245823   出願人：信越ポリマー株式会社, 信越化学工業株式会社
• マスクケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-278853   出願人：凸版印刷株式会社