レジスト材料及びレジストパターンの形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡本啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-049874
公開番号（公開出願番号）：特開平9-244247
出願日： 1996年03月07日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】化学増幅型レジストなどに使用されるレジスト材料に関し、アクリレート樹脂を骨格にもつレジストよりもさらにエッチング耐性が高くすることを目的とする。【解決手段】環状炭化水素および炭化水素のみからなる骨格構造と、側鎖に保護されたアルカリ可溶性基とを有する重合体又は共重合体を含む。

請求項（抜粋）：

環状炭化水素および炭化水素のみからなる骨格構造と、側鎖に保護されたアルカリ可溶性基とを有する重合体又は共重合体を含むことを特徴とするレジスト材料。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/38 511 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/38 511 , H01L 21/30 502 R , H01L 21/30 568

引用特許：

審査官引用 (3件)

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