特許
J-GLOBAL ID：200903073977551989

回転処理装置

発明者：
白石 博文

白石 博文 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について

, 
東京エレクトロン九州株式会社

東京エレクトロン九州株式会社 について


代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-277812
公開番号（公開出願番号）：特開平5-347293
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 筐体内の気体に乱流や滞留を生ぜしめることなくこれを円滑に排出する。【構成】 処理液の付着した被処理体Wを筐体内で回転保持しつつ清浄気体Gを流して乾燥させる回転処理装置において、上記箱状の筐体50の断面積を気体の流れ方向に沿って順次縮小させる。これにより、気体の流速を次第に高めてパーティクルや飛散した処理液の排出を効率的に行う。
請求項（抜粋）：
筺体内に収容された処理液の付着した被処理体を回転保持しつつ前記筺体内に気体を流通させて前記被処理体の処理を行う回転処理装置において、前記筺体の気体の流れ方向に直交する方向の前記筐体の断面積を前記気体の流れ方向に沿って順次縮小するように構成したことを特徴とする回転処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 361 ,  H01L 21/304
引用特許：
出願人引用 (6件)
  • 特開平1-145815
  • 特開平1-255227
  • 特開平3-148125
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審査官引用 (5件)
  • 特開平3-148125
  • 特開平1-255227
  • 特開平1-145815
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