マニピュレータおよびそれを用いたプローブ装置、試料作製装置、試料観察装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-326326
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146780
出願日： 1998年11月17日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】プローブ交換時における装置の停止時間を短縮し、装置稼働率を向上させるマニピュレータを提供する。【解決手段】真空チャンバにエアロック室を設け、このエアロック室を、本体の真空チャンバと真空ベローズで接続する。エアロック室にはプローブホルダを取り付け、本体に設けた移動機構によりエアロック室ごとプローブを移動する。エアロック室は排気ポートから真空排気を可能とし、エアロック室と真空チャンバの間を真空バルブで仕切る。プローブはエアロック室と真空チャンバの間を移動できるよう、第2の移動機構を設ける。

請求項（抜粋）：

針状部材と、上記針状部材を真空容器内で移動させるための移動手段からなるマニピュレータであって、上記針状部材は、上記真空容器を大気開放することなしに、上記真空容器からの出し入れを可能とする真空導入手段を具備することを特徴とするマニピュレータ。

IPC (7件)：

G01N 1/28 , B25J 7/00 , G01N 1/32 , G01N 23/225 , G01N 27/00 , G01R 31/302 , H01L 21/66

FI (8件)：

G01N 1/28 F , B25J 7/00 , G01N 1/32 B , G01N 23/225 , G01N 27/00 Z , H01L 21/66 C , G01N 1/28 G , G01R 31/28 L

Fターム (42件)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001GA09 , 2G001GA11 , 2G001JA02 , 2G001JA14 , 2G001KA03 , 2G001PA07 , 2G032AE01 , 2G032AE02 , 2G032AF01 , 2G032AF08 , 2G060AA09 , 2G060AE01 , 2G060AF02 , 2G060AG01 , 2G060EA03 , 2G060EB03 , 2G060EB05 , 2G060EB09 , 2G060HA01 , 2G060KA16 , 3F060AA00 , 3F060AA07 , 3F060BA10 , 3F060EB05 , 3F060HA00 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106BA03 , 4M106CA01 , 4M106CA70 , 4M106DH01 , 4M106DH24 , 4M106DH33 , 4M106DH60 , 4M106DJ04 , 4M106DJ05 , 4M106DJ23 , 9A001JJ45 , 9A001KZ54

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-160351
特開平3-074036
特開平4-048254

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