特許
J-GLOBAL ID：200903074260563350
スピン洗浄方法及び洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-079051
公開番号（公開出願番号）：特開平9-270409
出願日： 1996年04月01日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：
【要約】【課題】洗浄液の消費量が少なく、洗浄効率の良いスピン洗浄方法とスピン洗浄装置を提供すること。【解決手段】 洗浄漕1内に洗浄すべき基板SUBを回転可能に保持する手段2と、洗浄液LQを供給するノズル5とを有するスピン洗浄装置を用いて、基板SUBを回転させるとともに洗浄液LQを基板SUBの表面に供給して洗浄を行うスピン洗浄方法において、洗浄液LQの噴出方向と基板SUBの回転方向を対向させて洗浄することを特徴とする。洗浄漕1内に洗浄すべき基板SUBを回転可能に保持する手段2と、洗浄液LQを供給するノズル5とを有するスピン洗浄装置1において、洗浄液LQの噴出方向と基板SUBの回転方向とが対向するようにノズル5を配置したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
洗浄漕内に洗浄すべき基板を回転可能に保持する手段と、洗浄液を供給するノズルとを有するスピン洗浄装置を用いて、該基板を回転させるとともに該洗浄液を該基板の表面に供給して洗浄を行うスピン洗浄方法において、該洗浄液の噴出方向と該基板の回転方向を対向させて洗浄することを特徴とするスピン洗浄方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304 351
H01L 21/304 341 N
, H01L 21/304 351 S
