特許
J-GLOBAL ID：200903074373529574

基板回転処理装置

発明者：
河村 隆

河村 隆 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (2件)： 梁瀬 右司 ,  振角 正一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-237262
公開番号（公開出願番号）：特開2004-079740
出願日： 2002年08月16日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
【課題】設計自由度が高く、優れた性能を有する基板回転処理装置を提供する。【解決手段】出力部81が中空モータ1の上面に固着される一方、伝送部82がボルトなどの締結金具によってスピンベース3に連結固定されている。そして、外部電源から供給される電力を受けて出力部81が高周波信号を伝送部82に向けて送信する。一方、伝送部82は出力部81から送信されてきた高周波信号を検出するとともに、整流/平滑して得た電力をモータ50および光学センサに供給する。また、伝送部82は光学センサから出力される検出信号を受け取り、その信号レベルに基づき高周波信号の発振動作をオン又はオフし、出力部81に向けて伝送出力する。そして、これを受けた出力部81は高周波信号の有無から検出信号を検出し、制御部に出力する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
回転自在に設けられた回転部材と、 基板の外周端部に対して離当接自在な可動部材を少なくとも3個以上前記回転部材に設け、前記可動部材を前記基板の外周端部に当接させることで前記基板を保持可能な基板保持手段と、 前記回転部材に設けられ、前記可動部材を前記基板に対して離当接駆動する駆動手段と、 前記駆動手段に対して非接触で電力を供給する電力供給手段と を備えたことを特徴とする基板回転処理装置。
IPC (4件)：
H01L21/68 ,  B08B3/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304
FI (5件)：
H01L21/68 N ,  B08B3/02 B ,  H01L21/304 643A ,  H01L21/30 564C ,  H01L21/30 569C
Fターム (29件)：
3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201AB34 ,  3B201AB42 ,  3B201BB22 ,  3B201BB90 ,  3B201BB92 ,  3B201CC12 ,  3B201CC13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA24 ,  5F031HA27 ,  5F031HA29 ,  5F031HA30 ,  5F031JA03 ,  5F031JA05 ,  5F031JA14 ,  5F031JA15 ,  5F031JA27 ,  5F031JA36 ,  5F031LA07 ,  5F031LA14 ,  5F031LA18 ,  5F031MA23 ,  5F031MA26 ,  5F046JA11 ,  5F046LA05
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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