ペリクルライナー又はペリクルの剥離装置、剥離方法及びパターン基板の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：家入健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-200924
公開番号（公開出願番号）：特開2007-017811
出願日： 2005年07月08日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：

【課題】ペリクルライナー又はペリクルを確実に剥離することができる剥離装置及び剥離方法、並びにパターン基板の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の一態様にかかるペリクルライナーの剥離装置は、粘着層38を保護するペリクルライナー33が設けられたペリクルフレーム32を有するペリクル30をケース31から取り出す際に、ペリクルフレーム32の辺の中央近傍においてペリクルフレーム32の外側に突出したタブ34をケース31に固定して、ペリクルライナー33をペリクルフレーム32から剥離する装置であってペリクル30を保持するペリクル保持具23と、ペリクル保持具23にかかる荷重を検出する歪みゲージ24と、ペリクル保持具23とケース31との距離を離すよう、ケース31を駆動する駆動モータ13とを備えるものである。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

粘着層を保護するペリクルライナーが設けられたペリクルフレームを有するペリクルをペリクルケースから取り出す際に、前記ペリクルフレームの辺の中央近傍において当該ペリクルフレームの外側に突出した前記ペリクルライナーのタブを前記ペリクルケースに固定して、前記ペリクルライナーを前記ペリクルフレームから剥離するペリクルライナーの剥離装置であって前記ペリクルを保持するペリクル保持具と、前記ペリクル保持具にかかる荷重を検出する荷重センサーと、前記ペリクル保持具と前記ペリクルケースとの距離を離すよう、前記ペリクルケース又は前記ペリクル保持具を駆動する駆動部とを備えるペリクルライナーの剥離装置。

IPC (2件)：

G03F 1/14 , H01L 21/027

FI (2件)：

G03F1/14 J , H01L21/30 502P

Fターム (3件)：

2H095BB30 , 2H095BC36 , 2H095BC39

引用特許：

出願人引用 (2件)

ペリクルライナーの剥離方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-261133 出願人：株式会社ニコン
大型ペリクルの収納方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-159737 出願人：旭化成電子株式会社

審査官引用 (8件)

ペリクル貼り付け装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-123420 出願人：富士通株式会社, タツモ株式会社
特開平3-284751
ペリクルライナーの剥離方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-261133 出願人：株式会社ニコン

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