特許
J-GLOBAL ID:200903074548216493
電界効果トランジスタ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
重野 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-223018
公開番号(公開出願番号):特開2004-063976
出願日: 2002年07月31日
公開日(公表日): 2004年02月26日
要約:
【課題】有機半導体を用いた電界効果トランジスタであって、より高い移動度と、高いon電流及び低いリーク電流と、高いon/off比とを有する電界効果トランジスタを提供する。【解決手段】絶縁体層3と、この絶縁体層3により隔離されたゲート電極2及び有機半導体層4と、この有機半導体層4に接するように設けられたソース電極5及びドレイン電極6を、絶縁性支持基板上1に有する電界効果トランジスタ。絶縁体層は溶媒を用いた塗布法により形成された層であり、残留溶媒量が1重量%以下である。絶縁体層はモノマーを塗布した後重合させることにより形成された層であり、残留モノマー及び/又はオリゴマー量が3重量%以下である。又は絶縁体層中の吸着水分量が1重量%以下である。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
絶縁体層と、該絶縁体層により隔離されたゲート電極及び有機半導体層と、該有機半導体層に接するように設けられたソース電極及びドレイン電極と、絶縁性支持基板とを有する電界効果トランジスタにおいて、
該絶縁体層は溶媒を用いた塗布法により形成された層であり、該絶縁体層中の残留溶媒量が1重量%以下であることを特徴とする電界効果トランジスタ。
IPC (4件):
H01L29/786
, H01L21/47
, H01L21/471
, H01L51/00
FI (5件):
H01L29/78 618B
, H01L21/47
, H01L21/471
, H01L29/28
, H01L29/78 617T
Fターム (49件):
5F058AB06
, 5F058AC01
, 5F058AC02
, 5F058AC10
, 5F058AF04
, 5F058AF06
, 5F110AA01
, 5F110AA06
, 5F110AA07
, 5F110CC03
, 5F110CC05
, 5F110CC07
, 5F110DD01
, 5F110DD02
, 5F110DD03
, 5F110EE01
, 5F110EE02
, 5F110EE03
, 5F110EE04
, 5F110EE07
, 5F110EE41
, 5F110EE42
, 5F110EE43
, 5F110EE44
, 5F110FF01
, 5F110FF02
, 5F110FF03
, 5F110FF21
, 5F110FF27
, 5F110FF28
, 5F110FF40
, 5F110GG05
, 5F110GG24
, 5F110GG28
, 5F110GG29
, 5F110GG42
, 5F110HK01
, 5F110HK02
, 5F110HK03
, 5F110HK04
, 5F110HK07
, 5F110HK32
, 5F110HK33
, 5F110NN22
, 5F110NN23
, 5F110NN24
, 5F110NN27
, 5F110NN33
, 5F110NN36
引用特許:
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