特許
J-GLOBAL ID：200903074597151291
走査型電子顕微鏡を用いた試料の観察方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
作田 康夫
, 井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-028370
公開番号（公開出願番号）：特開2005-285746
出願日： 2005年02月04日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：
【課題】 電子線式顕微鏡を用いた半導体欠陥自動レビューにおける自動焦点合わせに要する時間を短縮することができ、試料を観察するスループットを向上させる。【解決手段】 走査型電子顕微鏡を用いて試料を観察する方法において、走査型電子顕微鏡で試料を低倍率で撮像して画像を取得し、前記低倍率で取得した画像から前記試料を高倍率で撮像する領域を特定し、前記走査型電子顕微鏡で試料を高倍率で撮像して合焦位置を求め、前記走査型電子顕微鏡の焦点を該求めた合焦位置に設定し、焦点位置を合焦位置に設定した状態で前記特定した領域の高倍率の画像を取得する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
走査型電子顕微鏡を用いて試料を観察する方法であって、
走査型電子顕微鏡で試料を低倍率で撮像して画像を取得し、
前記低倍率で取得した画像から前記試料を高倍率で撮像する領域を特定し、
前記走査型電子顕微鏡で前記試料を高倍率で撮像して合焦位置を求め、
前記走査型電子顕微鏡の焦点を該求めた合焦位置に設定し、
該焦点位置を合焦位置に設定した状態で前記特定した領域の高倍率の画像を取得する
ことを特徴とする走査型電子顕微鏡を用いた試料の観察方法。
IPC (4件)：
H01J37/28
, G01N23/225
, H01J37/21
, H01L21/66
H01J37/28 B
, G01N23/225
, H01J37/21 B
, H01L21/66 J
2G001AA03
, 2G001BA07
, 2G001BA15
, 2G001CA03
, 2G001EA05
, 2G001FA01
, 2G001FA06
, 2G001GA04
, 2G001GA06
, 2G001GA08
, 2G001HA13
, 2G001JA11
, 2G001JA13
, 2G001KA03
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA11
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA02
, 4M106CA38
, 4M106DB04
, 4M106DB18
, 4M106DB20
, 5C033MM03
, 5C033UU05
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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