特許
J-GLOBAL ID：200903074657637024

擬似SEM画像データの生成方法

発明者：
河島 司

河島 司 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (5件)： 金山 聡 ,  深町 圭子 ,  伊藤 英生 ,  藤枡 裕実 ,  後藤 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-134013
公開番号（公開出願番号）：特開2007-304959
出願日： 2006年05月12日
公開日（公表日）： 2007年11月22日
要約：
【課題】より本物のSEM画像に近い擬似SEM画像を生成する。【解決手段】表示用のビットマップ型の原画像データ、又はこれをビット単位で変形させたビットマップ型の画像データを処理画像データとして、処理画像データの各画素に対し、その画素を中心とする近傍領域の平均輝度値Rbを求め、該平均輝度値Rbから、所定の関数G(x)の関数値G(Rb)を算出し、これを生成する擬似SEM画像の対応する画素の輝度値とするもので、前記所定の関数G(x)は、閾値X1、X2、X3の1以上を可変として、xが閾値X1に満たない場合には、決められた値を出力し、xが閾値X1以上で閾値X2に満たない場合には、xの増加に伴い右上がりに変化し、xが閾値X2以上で閾値X3に満たない場合には、xの増加に伴い右下がりに変化し、xが閾値X3以上の場合には、決められた値を出力する、x-G(x)平面上、凸型形状に表示される関数である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
製品のSEM画像に類似した擬似SEM画像を表示するための擬似SEM画像データを生成する、擬似SEM画像データの生成方法であって、製品の設計形状を表し、且つ、画素毎に表示する輝度を表す画素値である輝度値を持つ、表示用のビットマップ型の原画像データを、あるいは、前記原画像データのパターン全体あるいは一部をビット単位で変形させた、画素毎に輝度値を持つビットマップ型の画像データを、処理画像データとして、処理画像データの各画素に対し、その画素を中心とする近傍領域の画素について前記輝度値を平均した、平均輝度値Rbを求め、該平均輝度値Rbから、所定の関数G(x)の関数値G(Rb)を算出し、該関数値G(Rb)を、生成する擬似SEM画像の対応する画素の輝度値とするもので、前記所定の関数G(x)は、閾値X1、X2、X3の1以上を可変として、xが閾値X1に満たない場合には、決められた値を出力し、xが閾値X1以上で閾値X2に満たない場合には、xの増加に伴い右上がりに変化し、xが閾値X2以上で閾値X3に満たない場合には、xの増加に伴い右下がりに変化し、xが閾値X3以上の場合には、決められた値を出力する、x-G(x)平面上、凸型形状に表示される関数であることを特徴とする擬似SEM画像データの生成方法。
IPC (3件)：
G06T 1/00 ,  G03F 1/08 ,  H01J 37/22
FI (3件)：
G06T1/00 305D ,  G03F1/08 S ,  H01J37/22 502H
Fターム (17件)：
2H095BD04 ,  2H095BD27 ,  5B057AA03 ,  5B057CA02 ,  5B057CA06 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB02 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE06 ,  5B057CE11 ,  5B057CH09 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB08
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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