パターン欠陥検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-095305
公開番号（公開出願番号）：特開2002-298124
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】フォトマスク上に形成されるパターンのエッチングプロセスによって生じるパターンの微妙な変化に対応したパターンデータの合わせを行い、疑似欠陥の発生を招くことなく精度良い検査を行う。【解決手段】設計データを多値階調のパターンデータに展開し、展開した多値階調パターンデータに対しリサイズ処理を施し、フォトマスク上のパターンをセンサで検出した観測値とリサイズされた多値階調パターンデータとを比較するパターン欠陥検査装置において、リサイズ処理のために、パターンデータ内特定領域のデータの向きを測定し、ある特定の向きにパターンデータを回転する図形回転回路11と、回転された特定領域内のパターンデータから図形の形状を分類する図形形状分類回路12と、図形分類番号とリサイズ量を基にパターンデータのリサイズ処理を行うパターンデータ膨張回路13を設けた。

請求項（抜粋）：

パターンが形成された試料に光を照射し、前記パターンの光学像を受光して光電変換する手段と、該手段により得られた信号を基に前記パターンに対応した測定パターンデータを発生する手段と、前記試料にパターンを形成するときに用いられた設計データから多値階調パターンデータを発生するパターンデータ発生手段と、該手段により得られた多値階調パターンデータに対し膨張/収縮を行うリサイズ手段と、該手段により膨張/収縮が行われた多値階調パターンデータと前記測定パターンデータとを比較して前記試料に形成されたパターンの欠陥有無を判定する判定手段とを備えたパターン欠陥検査装置であって、前記リサイズ手段は、前記パターンデータ発生手段により得られた多値階調パターンデータの特定領域内で該パターンデータの方向を検出して該パターンデータの方向を合わせる多値階調パターンデータ回転手段と、方向が合わされた多値階調パターンデータの形状を認識し分類する多値階調パターンデータ形状分類手段とを有し、前記分類された形状に応じて前記膨張/収縮を行うことを特徴とするパターン欠陥検査装置。

IPC (5件)：

G06T 1/00 305 , G01B 11/24 , G01N 21/956 , G03F 1/08 , H01L 21/027

FI (5件)：

G06T 1/00 305 A , G01N 21/956 A , G03F 1/08 S , G01B 11/24 K , H01L 21/30 502 P

Fターム (37件)：

2F065AA49 , 2F065AA54 , 2F065BB02 , 2F065CC18 , 2F065CC32 , 2F065FF04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065PP12 , 2F065QQ04 , 2F065QQ27 , 2F065QQ31 , 2G051AA56 , 2G051AB02 , 2G051AC21 , 2G051CA03 , 2G051CB02 , 2G051DA07 , 2G051EA12 , 2G051ED04 , 2G051ED12 , 2G051ED14 , 2H095BA01 , 2H095BD04 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CA08 , 5B057CB08 , 5B057CD03 , 5B057CF10 , 5B057CH01 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC08 , 5B057DC09 , 5B057DC33

引用特許：

審査官引用 (5件)

パターン検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-203304 出願人：株式会社東芝
画像信号の処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-181403 出願人：日本電気株式会社
パターン検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-010051 出願人：株式会社東芝, 株式会社トプコン

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