特許
J-GLOBAL ID：200903074684266933

エキシマレーザ装置のレーザガス制御装置

発明者：
石原 孝信

石原 孝信 について

, 
久永 直人

久永 直人 について


出願人/特許権者：
株式会社小松製作所

株式会社小松製作所 について


代理人 (1件)： 橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-058790
公開番号（公開出願番号）：特開平11-243242
出願日： 1998年02月24日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：
【要約】【課題】 レーザガスの劣化状態を高精度に推定して的確にレーザガス制御を行い、安定したレーザ性能が得られるエキシマレーザ装置のレーザガス制御装置を提供する。【解決手段】 レーザガスが封入されたレーザチャンバ2内で所定の製品処理のためのレーザ発振を行い、レーザガスの劣化に伴ってレーザガスの注入又は排気を制御するエキシマレーザ装置のレーザガス制御装置10において、前記製品処理の発振の停止中に、レーザガスの劣化状態を推定するための所定条件で調整発振を行って所定の発振データを計測し、この発振データに基づいてレーザガスの注入又は排気を行う。調整発振が必要な時に、上位制御装置に調整発振要求信号RQを送信し、上位制御装置から調整発振許可信号ENを受信した後に調整発振を行う。パルス発振繰り返し数、発振デューティ、発振波長、及び、出力エネルギー目標値又は充電電圧値等の発振条件を一定にして、調整発振を行う。
請求項（抜粋）：
レーザガスが封入されたレーザチャンバ(2) 内で所定の製品処理のためのレーザ発振を行い、レーザガスの劣化に伴ってレーザガスの注入又は排気を制御するエキシマレーザ装置のレーザガス制御装置(10)において、前記製品処理のための発振の停止中に、レーザガスの劣化状態を推定するための所定条件で調整発振を行って所定の発振データを計測し、この発振データに基づいてレーザガスの注入又は排気を行うことを特徴とするエキシマレーザ装置のレーザガス制御装置。
IPC (2件)：
H01S 3/036 ,  H01S 3/225
FI (2件)：
H01S 3/03 J ,  H01S 3/223 E
引用特許：
審査官引用 (4件)
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