特許
J-GLOBAL ID：200903074693061279

アラインメントデバイス及び複数の磁性マスクセグメントをアラインする方法

発明者：
トーマス ケニヨン クラーク

トーマス ケニヨン クラーク について


出願人/特許権者：
イーストマン コダック カンパニー

イーストマン コダック カンパニー について


代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-356285
公開番号（公開出願番号）：特開2003-249358
出願日： 2002年12月09日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：
【要約】【課題】 蒸着マスクによるOLEDデバイス製造の処理量を高めること。【解決手段】 (a)第1組及び第2組のアラインメントピンとを有するベースを含み、(b)該ベースに固定された一連のプレートセグメントを含み、(c)該プレートセグメントにアラインされた開口部を有する、該第1組のアラインメントピンを受容する孔を備えて形成されたフレームを含み、(d)該フレームはクロスバーを受容する溝を画定しており、(e)該クロスバーを受容する溝に配置された磁性クロスバーを含み、(f)該プレートの上に配置された複数の磁性マスクセグメントを含み、(g)該第2組のアラインメントピン及び該蒸着マスクに接し、かつ、該蒸着マスクのセグメントが露出されるようなサイズを有する透明平板を含み、そして(h)該磁性マスクセグメントを該フレームの周辺部に固定するための手段を含むことを特徴とするアラインメントデバイス。
請求項（抜粋）：
有機発光デバイスの一部となる基板の上への有機材料の同時蒸着を簡易化するため該基板に対して複数のマスクセグメントを有する蒸着マスクを配置することを可能にするアラインメントデバイスであって、(a) 第1組のアラインメントピンと第2組のアラインメントピンとを有するベースを含み、(b) 間隔を置いて並べて該ベースに固定された一連のプレートセグメントを含み、(c) 該間隔を置いて並べられたプレートセグメントにアラインされた開口部を有するフレームであって、該フレームが、該プレートセグメントの各々を取り囲む該ベースに着脱可能に搭載されるよう該第1組のアラインメントピンの位置に対応する該第1組のアラインメントピンを受容する孔を備えて形成されたフレームを含み、(d) 該フレームはクロスバーを受容する溝を画定しており、(e) 該クロスバーを受容する溝に配置された磁性クロスバーを含み、(f) 複数の磁性マスクセグメントであって、該フレームを該ベースに搭載したときに該磁性クロスバーからの磁場で該磁性マスクセグメントの一部が該フレームに固定されるように該プレートの上に配置された、該蒸着マスクを画定する複数の磁性マスクセグメントを含み、(g) 該第2組のアラインメントピン及び該蒸着マスクに接し、かつ、該蒸着マスクのセグメントが露出されるようなサイズを有する透明平板を含み、そして(h) 該磁性マスクセグメントを該フレームの周辺部に固定するための手段を含むことを特徴とするアラインメントデバイス。
IPC (3件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/50 ,  H05B 33/14
FI (3件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/50 F ,  H05B 33/14 A
Fターム (10件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM