特許
J-GLOBAL ID：200903074831297998

化学増幅型ポジ型レジスト組成物

発明者：
中西 潤次

中西 潤次 について

, 
高田 佳幸

高田 佳幸 について


出願人/特許権者：
住友化学工業株式会社

住友化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 久保山 隆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-021687
公開番号（公開出願番号）：特開2001-215704
出願日： 2000年01月31日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：
【要約】【課題】 感度、解像度、基板への接着性などのレジスト諸性能が良好で、アルカリ現像液への濡れ性にも優れた化学増幅型ポジ型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 (メタ)アクリル酸3-ヒドロキシ-1-アダマンチルの重合単位〔下式(I)〕及びラクトン環がアルキルで置換されていてもよいβ-(メタ)アクリロイロキシ-γ-ブチロラクトンの重合単位〔下式(II)〕を有し、それ自身はアルカリに不溶又は難溶であるが、酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、並びに酸発生剤を含有する化学増幅型ポジ型レジスト組成物。
請求項（抜粋）：
(メタ)アクリル酸3-ヒドロキシ-1-アダマンチルの重合単位及びラクトン環がアルキルで置換されていてもよいβ-(メタ)アクリロイロキシ-γ-ブチロラクトンの重合単位を有し、それ自身はアルカリに不溶又は難溶であるが、酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、並びに酸発生剤を含有することを特徴とする化学増幅型ポジ型レジスト組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (13件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45
引用特許：
審査官引用 (6件)
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